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‹$#Chð ‹$1Chð‹$Chð‹$ p•ÿÿ Ô¬ÿÿ @Éÿÿ Ó@Óÿÿ1 Îñíîâíàÿ ÷àñòü

1.1 Ïîíÿòèå î Ð-N ïåðåõîäå

Îñíîâíûì ýëåìåíòîì áîëüøîé ãðóïïû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ ÿâëÿåòñÿ ýëåêòðîííî-äûðî÷íûé ïåðåõîä. Òàêîé ïåðåõîä ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îáëàñòü ìåæäó äâóìÿ ïîëóïðîâîäíèêàìè ðàçíîãî òèïà ïðîâîäèìîñòè, îáúåäèíåííóþ îñíîâíûìè íîñèòåëÿìè çàðÿäà.  çàâèñèìîñòè îò õàðàêòåðà ðàñïðåäåëåíèÿ, êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè â îáúåäèíåíîì ñëîå P-N ïåðåõîäû áûâàþò ñòóïåí÷àòûå (ðåçêèìè) è ïëàâíûìè.

 ñòóïåí÷àòîì P-N ïåðåõîäå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé ðàñïðåäåëåíû â êàæäîé îáëàñòè ðàâíîìåðíî, à ïëàâíûõ ðàñïðåäåëÿþòñÿ ïî íåêîòîðîìó çàêîíó.

Íà ðèñ.1.1.1 ïðåäñòàâëåíî ðàñïðåäåëåíèå çàðàäîâ â ïîëóïðîâîäíèêàõ ïðè ïëàâíîì è ðåçêîâ èçìåíåíèè òèïà ïðîâîäèìîñòè.



à) á)

Ðèñ.1.1.1 Ðàñïðåäåëåíèå è ïðèìåñè çàðÿäà â ïîëóïðîâîäíèêå ïðè èçìåíåíèè òèïà ïðîâîäèìîñòè:

à) ïëàâíîå èçìåíåíèå òèïà ïðîâîäèìîñòè;

á) ðåçêîå èçìåíåíèå òèïà ïðîâîäèìîñòè.

Ïðè ïëàâíîì èçìåíåíèèè òèïà ïðîâîäèìîñòè (ðèñ. 1.1.1à) ãðàäèåíò êîíöåíòðàöèè ðåçóëüòèðóþùåé ïðèìåñè N=Na-Ngìàë, ñîîòâåòñòâåííî ìàëû è äèôôóçèîííûå òîêè.

Ýòè òîêè êîíïåíñèðóþòñÿ äðåéôîâûìè òîêàìè, êîòîðûå âûçâàíû ýëåêòðè÷åñêèì ïîëåì, ñâÿçàííûå ñ íàðóøåíèåì óñëîâèÿ ýëåêòðè÷åñêîé íåéòðàëüíîñòè: Ng-Na-Ro+Ïo=0 (1).

Äëÿ êîìïåíñàöèè äèôôóçèîííûõ òîêîâ äîñòàòî÷íî íåçíà÷èòåëüíîãî íàðóøåíèÿ íåéòðàëüíîñòè, è óñëîâèå (1) ìîæíî ñ÷èòàòü ïðèáëèæåííî âûïîëíåííûì: Ng-Na+Po-Ïî<<Po+Ïî (2).

Ïðè ðåçêîì èçìåíåíèè òèïà ïðîâîäèìîñòè (Ðèñ.1.1.1á) äèôôóçèîííûå òîêè âåëèêè, è äëÿ èõ êîìïåíñàöèè íåîáõîäèìî ñóùåñòâåííîå íàðóøåíèå ýëåêòðîíåéòðàëüíîñòè: (1).

Èçâåñòíî, ÷òî ýêðàíèðîâàíèå ýëåêòðè÷åñêèõ çàðÿäîâ â ïîëóïðîâîäíèêàõ ïîäâèæíûìè íîñèòåëÿìè îñóùåñòâëÿåòñÿ â îáëàñòè ñ ðàçìåðàìè ïîðÿäêà äåáàåâñêîé äëèíû ýêðàíèðîâàíèÿ(3), ãäå .

Ïðè ýòîì ýëåêòðèÿ÷åñêàÿ íåéòðàëüíîñòü ñóùåñòâåííî íàðóøàåòñÿ, åñëè íà äåáàåâñêîé äëèíå ýêðàíèðîâàíèÿ èçìåíåíèå ðåçóëüòèðóþùåé êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè âåëèêî.

Òàêèì îáðàçîì, íåéòðàëüíîñòü ñóùåñòâåííî íàðóøàåòñÿ ïðè óñëîâèè:(4).

 ñîñòîÿíèè òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ ïðè îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ ñïðàâåäëèâ çàêîí äåéñòâóþùèõ ìàññ: (5).

Ïðè óñëîâèè (5) ïðàâàÿ ÷àñòü (4) äîñòèãàåò ìèíèìóìà ïðè .Ïîýòîìó óñëîâèå ñóùåñòâîâàíèÿ Ð-N ïåðåõîäà (óñëîâèå ñóùåñòâåííîãî íàðóøåíèÿ íåéòðàëüíîñòè) èìååò âèä: (6), ãäå  - äåáàåâñêàÿ äëèíà ýêðàíèðîâàíèÿ â ñîáñòâåííîì ïîëóïðîâîäíèêå.

Ïåðåõîäû, â êîòîðûõ èçìåíåíèå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè íà ãðàíèöå ñëîåâ Ð- è N- òèïà ìîãóò ñ÷èòàòüñÿ ñêà÷êîîáðàçíûìè (), íàçûâàþòñÿ ñòóïåí÷àòûìè.

 ïëàâíûõ ïåðåõîäàõ ãðàäèåíò êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè êîíå÷åí, íî óäîâëåòâîðÿåò íåðàâåíñòâó (6).

Ïðàêòè÷åñêè ñòóïå÷àòûìè ìîãóò ñ÷èòàòüñÿ P-N ïåðåõîäû, â êîòîðûõ èçìåíåíèå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè ïðîèñõîäèò ïî äëèíå, ìíîãî ìåíüùå øèðèíû ïåðåõîäà. Òàêèå ïåðåõîäû ìîãóò áûòü ïîëó÷åíû ïóòåì ñïëàâëåíèÿ, ýïèòàêèè.

Ïî îòíîøåíèþ ê êîíöåíòðàöèè îñíîâíûõ íîñèòåëåé â ñëîÿõ Ð- è N- òèïà ïåðåõîäû äåëÿòñÿ íà ñèììåòðè÷íûå ì íåñèììåòðè÷íûå.

 ñèììåòðè÷íûõ ïåðåîäàõ ôóíêöèè N(x) îáëàäàåò öåíòðàëüíîé ñèììåòðèåé îòíîñèòåëüíî òî÷êè X=0, ãäå N=0.

 íåñèììåòðè÷íûõ P-N ïåðåõîäàõ îëåå ëåãèðîâàííûå (è, ñîîòâåòñòâåííî , íèçêîîìíûå) îáëàñòü íàçûâàåòñÿ ýìèòåðîì, à ìåíåå ëåãèðîâàííàÿ (âûñîêîîìíàÿ) - áàçîé.

1.2 Ñòðóêòðóðà P-N ïåðåõîäà.

Íàèáîëåå

ïðîñòî

ïîääàþòñÿ

àíàëèçó

ñòóïåí÷àòûå

P-N ïåðåõîäû.

Ñòðóêòðóðà

ñòóïåí÷àòîãî

ïåðåõîäà

ïðåäñòàâëåíà

íà ðèñóíêå 1.2.1

Ïðàêòè÷åñêè

âñå

êîíöåíòðàöèè

ïðèìåñè â P- è

N-îáëàñòÿõ

ïðåâûøàþò

ñîáñòâåííóþ

êîíöåíòðàöèþ

íîñèòåëåé

çàðÿäà Ni. Äëÿ

îïðåäåëåíèÿ

áóäåì

ïîëîãàòü,

÷òî

ýìèòåðîì

ÿâëÿåòñÿ

P-îáëàñòü, à

áàçîé

N-îáëàñòü. Â

áîëüøèíñòâå

ïðàêòè÷åñêèõ

ñëó÷àåâ

âûïîëíÿåòñÿ

íåðàâåíñòâî

Ný>>Ná (7), ãäå Ný è

Ná -

ðåçóëüòèðóþùèå

êîíöåíòðàöèè

ïðèìåñè â

ýìèòåðå è

áàçå.



à) á)

Ðèñ.1.2.1 Ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñè è íîñèòåëåé çàðÿäà â ñòóïåí÷àòîì P-N ïåðåõîäå:

à) ïîëóëîãàðèôìè÷åñêèé ìàñøòàá

á) ëèíåéíûé ìàñøòàá

Ðèñóíîê 1.2.1 ñîîòâåòñòâóåò êðåìíèåâîìó ïåðåõîäó (Ni=1010 cm3 ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå Ò=293,15 Ê) ñ êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñè Ný=1018 ñì-3 Ná=1016 ñì-3.

 ãëóáèíå ýìèòåðà è áàçû êîíöåíòðàöèÿ îñíîâíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà ïðàêòè÷åñêè ñîâïàäàåò ñ ðåçóëüòèðóþùåé êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñè:  (8),

à êîíöåíòðàöèÿ íå îñíîâíûõ íîñèòåëåé îïðåäåëÿåòñÿ çàêîíîì äåéñòâóþùèõ ìàññ  (9à)

 (9á).

Èíäåêñû P è Ï ñîîòâåòñòâóþò Ð è N îáëàñòÿì, à èíäåêñ Î ñîîòâåòñòâåííî òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî êîíöåíòðàöèÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé â áàçå áîëøå ÷åì â ýìèòåðå.

Íà ðèñ. 1.2.1à ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñåé è íîñèòåëåé çàðÿäà ïðåäñòàâëåíî â ïîëóëîãàðèôìè÷åñêîì ìàñøòàáå, òàêà êàê â ëèíåéíîì ìàñøòàáå èçîáðàçèòü êîíöåíòðàöèè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé î÷åíü òðóäíî.

Ïåðåõîä çàíèìàåò îáëàñòü . Êîíå÷íî ãðàíèöû ïåðåõîäà  îïðåäåëåíû â íåêîòîðîé ñòåïåíè óñëîâíî, òàê êàê êîíöåíòðàöèè îñíîâíûõ íîñèòåëåé èçìåíÿþòñÿ ïëàâíî. Òåì íåìåíåå èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî óæå íà íåáîëüøîì ðàñòîÿíèè îò ãðàíèö âíóòðè ïåðåõîäà âûïîëíÿåòñÿ íåðàâåíñâî:

 (10).

Íåðàâåíñòâî (10) âûïîëíÿåòñÿ íà âñåì P-N ïåðåõîäå. Íà ðèñóíêå 1.2.1á ðàñïðåäåëåíèå êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé è ïðèìåñåé çàðÿäà èçîáðàæåíû â ëèíåéíîì ìàñøòàáå. Èç ðèñóíêà âìäíî, ÷òî â ýìèòåðíîé îáëàñòè ïåðåõîäà () êîíöåíòðàöèÿ ïîäâèæíûõ íîñèòèèëåé î÷åíü ìàëà ïî ñðàâíåíèþ ñ êîíöåíòðàöèåé ïðèìåñè.

Ýòà îáëàñòü èìååò îòðèöàòåëüíûé îáúåìíûé çàðÿä, ïëîòíîñòü êîòîðãî íå çàâèñèò îò êîðäèíàòû: (11).

 áàçîâîé îáëàñòè ïåðåõîäà () ïëîòíîñòü îáúåìíîãî çàðÿäà ïîëîæèòåëüíà: (12).

Äëÿ N-îáëàñòè îñíîâíûìè íîñèòåëÿìè ÿâëÿþòñÿ ýëåêòðîíû, äëÿ Ð-îáëàñòè - äûðêè. Îñíîâíûå íîñèòåëè âîçíèêàþò ïî÷òè öåëèêîì âñëåäñòâèè èîíèçàöèè äîíîðíûõ è àêöåïòîðíûõ ïðèìåñåé.

Ïîìèìî îñíîâíûõ íîñèòåëåé ýòè îáëàñòè ñîäåðæàò íåîñíîâíûå íîñèòåëè: N-îáëàñòè - äûðêè (), Ð-îáëàñòü - ýëåêòðîíû (). Èõ êîíöåíòðàöèþ ìîæíî îïðåäåëèòü ïîëüçóÿñü çàêîíîì äåéñòâóþùèõ ìàññ:

 è Ï=1019ì-3 (Ge) ïîëó÷àåì 

Òàêèì

îáðàçîì,

êîíöåíòðàöèÿ

äûðîê â

Ð-îáëàñòè íà

øåñòü

ïîðÿäêîâ

âûøå

êîíöåíòðàöèè

èç â

N-îáëàñòè,

òî÷íî òàêæå

êîíöåíòðàöèÿ

ýëåêòðîíîâ â

N-îáëàñòè íà

øåñòü

ïîðÿäêîâ

âûøå èõ

êîíöåíòðàöèè

â Ð-îáëàñòè.

Òàêîå

ðàçëè÷èå â

êîíöåíòðàöèè

îäíîòèïíûõ

íîñèòåëåé â

êîíòàêòèðóþùèõ

îáëàñòÿõ

ïîëóïðîâîäíèêà

ïðèâîäèò ê

âîçíèêíîâåíèþ

äèôôóçèîííûõ

ïîòîêîâ

ýëåêòðîíîâ

èç N-îáëàñòè

â Ð-îáëàñòü è

äûðîê èç

Ð-îáëàñòè â

N-îáëàñòü. Ïðè

ýòîì

ýëåêòðîíû,

ïåðåøåäøèå

èç N-îáëàñòè

â Ð-îáëàñòü,

ðåêîìáèíèðóþò

âáëèçè

ãðàíèöû

ðàçäåëà ñ

äûðêàìè

Ð-îáëàñòè,

òî÷íî òàêæå

äûðêè,

ïåðåøåäøèå

èç Ð- â

N-îáëàñòü,

ðåêîìáèíèðóþò

çäåñü ñ

ýëåêòðîíàìè

ýòîé

îáëàñòè. Â

ðåçóëüòàòå

ýòîãî â

ïðèêîíòàêòíîì

ñëîå

N-îáëàñòè

ïðàêòè÷åñêè

íå îñòàåòñÿ

ñâîáîäíûõ

ýëåêòðîíîâ è

â íåì

ôîðìèðóåòñÿ

íåïîäâèæíûé

îáúåìíûé

çàðÿä. Òàêèì

îáðàçîì

ôèçè÷åñêàÿ

ïðè÷èíà

îáðàçîâàíèÿ

îáúåìíîãî

çàðÿäà

çàêëþ÷àåòñÿ

â òîì, ÷òî ïîä

äåéñòâèåì

ãðàäèåíòà

êîíöåíòðàöèè

äûðêè è

ýëåòðîíû

äèôôóíäèðóþò

èç

Ð-îáëàñòè(ýìèòòåðà)

â N-îáëàñòü

(áàçó) è èç

N-îáëàñòè

(áàçû) â

Ð-îáëàñòü

(ýìèòåðà)

ñîîòâåòñòâåííî,

îñòàâëÿÿ â Ð-N

ïåðåõîäå

îãîëåííûå

ïðèìåñíûå

èîíû. Ïðîöåññ

äèôôóçèè

ïðîäîëæàåòñÿ

äî òåõ ïîð,

ïîêà íå

óðàâíîâåøèâàþòñ

âîçíèêàþùèì

ýëåêòðè÷åñêèì

ïîëåì.

Íà ðèñ. 1.2.2á ïîêàçàíî èçìåíåíèå êîíöåíòðàöèè àêöåïòîðíûõ è äîíîðíûõ àòîìîâ ïðè ïåðåìåùåíèè âäîëü îñè Õ, ïåðïåíäèêóëÿðíîé ïëîñêîñòè.

Íåïîäâèæíûå îáúåìíûå çàðÿäû ñîçäàþò â Ð-N ïåðåõîäå êîíòàêòíîå ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå ñ ðàçíîñòüþ ïîòåíöèàëîâ , ëîêàëèçîâàííîå â îáëàñòè ïåðåõîäà è ïðàêòè÷åñêè íå âûõîäÿùèå çà åãî ïðåäåëû.

Ïîýòîìó âíå ýòîãî ñëîÿ, ãäå ïîëÿ íåò, ñâîáîäíûå íîñèòåëè çàðÿäà ïî ïðåæíåìó õîîòè÷íî è ÷èñëî íîñèòåëåé, åæåñåêóíäíî íàòàëêèâàþòñÿ íà ñëîé îáúåìíîãî çàðÿäà, çàâèñèò òîëüêî îò èõ êîíöåíòðàöèè è ñêîðîñòè òåïëîâîãî äâèæåíèÿ, êîòîðûå ïîä÷èíÿþòñÿ êëàññè÷åñêîé ñòàòèñòèêå Ìàêñâåëëà-Áîëüöìàíà.

Íà ðèñ 1.2.2â, ïîêàçàíû íåïîäâèæíûå îáúåìíûå çàðÿäû, îáðàçîâàâøèåñÿ â Ð- ïåðåõîäå ( - îáúåìíàÿ ïëîòíîñòü ýòèõ çàðÿäîâ).

Íå îñíîâíûå íîñèòåëè-ýëåêòðîíû èç Ð-îáëàñòè è äûðêè èç -îáëàñòè, ïîïàäàÿ â ñëîé îáúåìíîãî çàðÿäà (ðèñ.1.2.2) ïîäõâàòûâàþòñÿ êîíòàêòíûì ïîëåì Vk è ïåðåíîñÿòñÿ ÷åðåç Ð-N ïåðåõîä.

Äðóãèå óñëîâèÿ ñêëàäûâàþòñÿ äëÿ îñíîâíûõ íîñèòåëåé. Ïðè ïåðåõîäå èç îäíîé îáëàñòè ïîëóïðîâîäíèêà â äðóãóþ îíè äîëæíû ïðåîäîëåâàòü ïîòåíöèàëüíûé áàðüåð , ñôîðìèðîâàâøèéñÿ â Ð-N ïåðåõîäå. Äëÿ ýòîãî îíè äîëæíû îáëàäàòü êèíåòè÷åñêîé ýíåðãèåé äâèæåíèÿ âäîëü îñè Õ, íå ìåíüøåé .



Ðèñ.1.2.2

Íà ïåðâûõ ïîðàõ, ïîñëå ìûñëåíîãî ïðèâåäåíèÿ Ð- è N-îáëàñòåé â êîíòàêò ïîòîêè îñíîâíûõ íîñèòåëåé ðåçêî óìåíüøàþòñÿ. Â òîæå âðåìÿ ïîòîêè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé íåçàâèñÿùèå îò  îñòàþòñÿ íåèçìåííûìè. Ïîýòîìó îòíîñèòåëüíî áûñòðî ïîòåíöèàëüíûé áàðüåð äîñòèãàåò òàêîé âûñîòû , ïðè êîòîðîì ïîòîêè îñíîâíûõ íîñèòåëåé ñðàâíèâàþòñÿ ñ ïîòîêàìè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé:



Ýòî ñîîòâåòñòâóåò óñòàíîâëåíèþ â Ð-N ïåðåõîäå ñîñòîÿíèÿ äèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ.

Èç ðèñ.2à âèäíî ÷òî â íåêîòîðîé îáëàñòè Õ=Õô êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ è äûðîê îäèíàêîâû:

 (13).

Ýòà ïëîñêîñòü íàçûâàåòñÿ ïëîñêîñòüþ ôèçè÷åñêîãî ïåðåõîäà â îòëè÷èå îò ïëîñêîñòè ìåòàëëóðãè÷åñêîãî (èëè òåõíîëîãè÷åñêîãî) ïåðåõîäà Õ=0, ãäå ðåçóëüòèðóþùàÿ êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè ðàâíà íóëþ.  ñèììåòðè÷íûõ ïåðåõîäàõ ïëîñêîñòü ôèçè÷åñêîãî è ìåòàëëóðãè÷åñêèõ ïåðåõîäîâ ñîâïàäàåò.

1.3. Ìåòîäû ñîçäàíèÿ Ð-N ïåðåõîäîâ.

Ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå ïåðåõîäû â çàâèñèìîñòè îò òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ðàçäåëÿþòñÿ íà òî÷å÷íûå, ñïëàâíûå, äèôôóçèîííûå, ýïèòàêñèàëüíûå, ïëàíàðíûå è äðóãèå.

Òî÷å÷íûå ïåðåõîäû (ðèñ. 1.3.1)

Îáðàçóþòñÿ òî÷å÷íî-êîíòàêòíûì ñïîñîáîì. Ê ïîëèðîâàííîé è ïðîòðàâëåííîé ïëàñòèíå ìîíîêðèñòàëè÷åñêîãî ïîëóïðîâîäíèêà N-òèïà ïîäâîäÿò èãëó, íàïðèìåð, èç áåðèëëèåâîé áðîíçû ñ îñòðèåì 20-30 ìêì. Çàòåì ÷åðåç êîíòàêò ïðîïóñêàþò êðàòêîâðåìåííûå ìîùíûå èìïóëüñû òîêà. Ìåñòî êîíòàêòà ðàçîãðåâàåòñÿ äî òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ ìàòåðèàëà çîíäà, è ìåäü ëåãêî äèôôóíäèðóåò âíóòðü ïîëóïðîâîäíèêà îáðàçóÿ, ïîä çîíäîì íåáîëüøóþ ïî îáúåìó îáëàñòü Ð-òèïà.



Ðèñ.1.3.1 Òî÷å÷íûé ïåðåõîä

Èíîãäà ïåðåä ýëåêòðè÷åñêîé ôîðìîâêîé íà êîíåö èãëû íàíîñÿò àêöåïòîðíóþ ïðèìåñü (In èëè Al), ïðè ýòîì ïðÿìàÿ ïðîâîäèìîñòü êîíòàêòà äîõîäèò äî 0,1 Ñì. Òàêèì îáðàçîì, ýëåêòðîííî-äûðî÷íûé ïåðåõîä îáðàçóåòñÿ â ðåçóëüòàòå äèôôóçèè àêöåïòîðíîé ïðèìåñè èç ðàñïëàâà çîíäà è âîçíèêíîâåíèè ïîä íèì îáëàñòè Ð-òèïà â êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêå ïîëóïðîâîäíèêà N-òèïà.

Òî÷å÷íûå ïåðåõîäû ïðèìåíÿþò ïðè èçãîòîâëåíèè âûñîêîêà÷åñòâåííûõ äèîäîâ äëÿ ðàäèîòåõíè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ.

Ñïëàâíûå ïåðåõîäû.(ðèñ.1.3.2)

Îáû÷íî

ïîëó÷àþò

âûïëàâëåíèåì

ïðèìåñè â

ìîíîêðèñòàëë

ïîëóïðîâîäíèêà.

Ìîíîêðèñòàëë,

íàïðèìåð

ãåðìàíèÿ

N-òèïà,

ðàñïèëèâàþò

íà ïëàñòèíû

òîëùèíîé 200-400

ìêì è çàòåì

ïîñëå

òðàâëåíèÿ è

ïîëèðîâêè

ðàçðåçàþò

íà

êðèñòàëëû

ïëîùàäüþ â

äâà-òðè

ìèëëèìåòðà

è áîëüøå. íà

êðèñòàëëû,

ïîìåùåííûå

â

ãðàôèòîâûå

êàññåòû,

íàêëàäûâàþò

òàáëåòêó

àêöåïòîðíîãî

ìàòåðèàëà,

÷àùå âñåãî

èíäèÿ. Çàòåì

êàññåòà

ïîìåùàåòñÿ

â âàêóóìíóþ

ïå÷ü, â

êîòîðîé

òàáëåòêà

èíäèÿ è ñëîé

ãåðìàíèÿ ïîä

íåé

ðàñïëàâëÿåòñÿ.

Íàãðåâ

ïðåêðàùàåòñÿ

è ïðè

îõëàæäåíèè

ãåðìàíèé

êðèñòàëèçóåòñÿ,

îáðàçóÿ ïîä

ñëîåì èíäèÿ

ñëîé Ð-òèïà.



Ðèñ.1.3.2 Ñïëàâíîé ïåðåõîä

Çàñòûâøàÿ ÷àñòü èíäèÿ ïðåäñòàëÿåò ñîáîé îìè÷åñêèé (íåâûïðÿìëÿþùèé) êîíòàêò, íà íèæíþþ ÷àñòü ïëàñòèíû íàíîñÿò ñëîé îëîâà, êîòîðûé ñëóæèò îìè÷åñêèì êîíòàêòîì ê ãåðìàíèþ N-òèïà. Ê èíäèþ è îëîâó ïðèïàèâàþò âûâîäû îáû÷íî èç íèêåëåâîé ïðîâîëî÷êè.

Èíîãäà, äëÿ îáðàçîâàíèÿ îìè÷åñêîãî êîíòàêòà ñ îáëàñòüþ N-òèïà, íà íåå íàïûëÿþò ñïëàâ Au-Sb, ñîäåðæàùèé ïðèìåðíî 0,1% ñóðüìû, è âïëàâëÿþò åãî ïðè òåìïåðàòóðå 400îÑ.



Ðèñ. 1.3.3. Äèôôóçèîííûé ïåðåõîä

Äèôôóçèîííûå ïåðåõîäû (ðèñ. 1.3.3)

Äèôôóçèîííûå ïåðåõîäû ïîëó÷àþò äèôôóçèåé ïðèìåñíîãî âåùåñòâà â èñõîäíóþ ïîëóïðîâîäíèêîâóþ ïëàñòèíó. Ýòî îäèí èç íàèáîëåå øèðîêî èñïîëüçóåìûõ ìåòîäîâ ïîëó÷åíèÿ Ð-N ïåðåõîäà. Îí èìååò íåñêîëüêî ðàçíîâèäíîñòåé.

Ïðè ïëàíàðíîì ìåòîäå äèôôóçèè ïåðåõîäû ïîëó÷àþò, èñïîëüçóÿ èçîëèðóþùèé ñëîé, ïðèïÿòñòâóþùèé äèôôóçèè ïðèìåñåé. Íà ïîâåðõíîñòè êðåìíèÿ N-òèïà âûðàùèâàåòñÿ òîíêèé (îêîëî 3 ìêì) ñëîé äâóîêèñè êðåìíèÿ SiO2 (ðèñ.1.3.3à). Ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèì ìåòîäîì â îïðåäåëåííûõ ìåñòàõ îêèñëà ïîëó÷àþò “îêíà”, ÷åðåç êîòîðûå äèôôóíäèðóþùèå ïðèìåñè ïðîíèêàþò â N-ñëîé, îáðàçóÿ ïåðåõîä (ðèñ.1.3.3á,â)

Ýïèòàêñèàëüíûå ïåðåõîäû (Ðèñ.1.3.4)



Ðèñ. 1.3.4 Ýïèòàêñèàëüíûé ïåðåõîä

Ýïèòàêñèàëüíûå ïåðåõîäû îáðàçóþòñÿ îðèåíòèðîâàííûì íàïðàâëåíèåì ñëîÿ ìîíîêðèñòàëè÷åñêîãî ïîëóïðîâîäíèêà íà èñõîäíîì ìîíîêðèñòàëëå-ïîäëîæêå. Äëÿ ïðîâåäåíèÿ ýïèòàêñèè íåîáõîäèìî ñîçäàâàòü óñëîâèÿ äëÿ êîíäåíñàöèè àòîìîâ îñàæäàåìîãî âåùåñòâà íà ïîâåðõíîñòü ïîäëîæêè. Êîíäåíñàöèÿ ïðîèñõîäèò èç ïåðåñûùåíîãî ïàðà èëè æèäêîãî ðàñòâîðà, à òàêæå ïðè èñïàðåíèè îñàæäàåìîãî âåùåñòâà â âàêóóìå â ñïåöìàëüíûõ ðåàêòîðàõ. Ïðè íàðàùèâàíèè ïëåíêè ñ ïðîâîäèìîñòüþ ïðîòèâîïîëîæíîé ïîäëîæêå, îáðàçóåòñÿ Ð-N ïåðåõîä.

Ïëàíàðíî-ýïèòàêñèàëüíûé ïåðåõîä.(Ðèñ.1.3.5)

Ïðè

èçãîòîâëåíèè

èíòåãðàëüíûõ

ñõåì øèðîêî

èñïîëüçóþò

ïëàíàðíî-ýïèòàêñèàëüíûé

ìåòîä.

îñîáåííîñòü

òàêîãî

òåõíîëîãè÷åñêîãî

ïðîöåññà

çàêëþ÷àåòñÿ

â òîì, ÷òî

ïóòåì

íàðàùèâàíèÿ

íà ïîäëîæêó [4]

èç

íèçêîîìíîíîãî

êðåìíèÿ

òîíêîãî

ñëîÿ [3]

âûñîêîîìíîãî

ïîëóïðîâîäíèêà,

ïîâòîðÿþùåãî

ñòðóêòóðó

ïîäëîæêè.

Ýòîò ñëîé,

íàçûâàåìûé

ýïèòàêñèàëüíûì,

ïîêðûâàþò

ïëîòíîé

çàùèòíîé

ïëåíêîé SiO2

òîëùèíîé

1ìêì (ðèñ.8). Â

ïëåíêå

ïðîòðàâëèâàþò

îêíî, ÷åðåç

êîòîðîå

ïóòåì

äèôôóçèè

áîðà èëè

àëëþìèíèÿ

ñîçäàåòñÿ Ð-N

ïåðåõîä [1],

âûõîä

êîòîðîãî íà

ïîâåðõíîñòü

îêàçûâàåòñÿ

ñðàçó æå

íàäåæíî

çàùèùåííûì

ïëåíêîé

îêèñëà.



Ðèñ. 1.3.5 Ïëàíàðíî ýïèòàêñèàëüíûé ïåðåõîä

Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî â ïîñëåäíèå ãîäû øèðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó÷èëè òàêèå ìåòîäû ôîðìèðîâàíèÿ Ð-N ïåðåõîäîâ, êàê èîííîå ëåãèðîâàíèå è ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâàÿ ýïèòàêñèÿ.

1.4 Ýíåðãåòè÷åñêàÿ äèàãðàììà Ð-N ïåðåõîäà.

Äëÿ àíàëèçà ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ â ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ óäîáíî èñïîëüçîâàòü ìåòîä ýíåðãåòè÷åñêèõ äèàãðàìì. Ýíåðãåòè÷åñêàÿ äèàãðàììà Ð-N ïåðåõîäà â ñîñòîÿíèè òåðìîäèíàìè÷åñêîãî ðàâíîâåñèÿ ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 1.4.1.



Ðèñ. 1.4.1. Ýíåðãåòè÷åñêàÿ äèàãðàììà ðàâíîâåñíîãî Ð-N ïåðåõîäà.

Íà îñè êîîðäèíàò îòëîæåíà ýíåðãèÿ ýëåêòðîíà Å. Ýíåðãèÿ äûðîê íà äèàãðàììå âîçðàñòàåò â íàïðàâëåíèè -Å. Òàê êàê ÷àñòèöû ñòðåìÿòñÿ çàíÿòü ñîñòîÿíèå ñ ìèíèìàëüíîé ýíåðãèåé, ýëåêòðîíû íà äèàãðàììå èìåþò òåíäåíöèþ “òîíóòü”, à äûðêè “âñïëûâàòü”. Ïðè îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ îáùèé äëÿ âñåé ñèñòåìû óðîâåíü Ôåðìè ðàñïîëîæåí âíóòðè çàïðåùåííîé çîíû, øèðèíà êîòîðîé íå çàâèñèò îò êîîðäèíàòû.

Óðîâåíü ýëåêòðîñòàòè÷åñêîé ýíåðãèè Fi ïîêàçàí íà ðèñ.1.4.1 ïóíêòèðîâ, ñîîòâåòñòâóåò ïîëîæåíèþ óðîâíÿ Ôåðìè â ñîáñòâåííîì ïîëóïðîâîäíèêå è ðàñïîëîæåí âáëèçè ñåðåäèíû çàïðåùåííîé çîíû.

Ýíåðãåòè÷åñêèå

óðîâíè

èçîáðàæåíû

ãîðèçîíòàëüíûìè

ïðÿìûìè. Ýòî

âûðàæàåò

òîò ôàêò, ÷òî

ýíåðãèÿ

ýëåêòðîíà,

íàõîäÿùåãîñÿ

íà äàííîì

óðîâíå,

íàïðèìåð, íà

äâå çîíû

ïðîâîäèìîñòè,

âî âñåõ

òî÷êàõ

ïîëóïðîâîäíèêà

îäèíàêîâà.

Ïîñëå

óñòàíîâëåíèÿ

ðàâíîâåñèÿ

îáðàçóåòñÿ

Ð-N ïåðåõîä ñ

ïîòåíöèàëüíûì

áàðüåðîì äëÿ

îñíîâíûõ

íîñèòåëåé

ðàâíûì .

Ýëåêòðîíû,

ïåðåõîäÿùèå

èç N- â

Ð-îáëàñòü,

ïðåîäîëåâàÿ

ýòîò áàðüåð,

óâåëè÷èâàåò

ñâîþ

ïîòåíöèàëüíóþ

ýíåðãèþ íà .

Ïîýòîìó âñå

ýíåðãèòè÷åñêèå

óðîâíè

ïîëóïðîâîäíèêà,

èñêðèâëÿÿñü

â îáëàñòè Ð-N

ïåðåõîäà,

ïîäíèìàþòñÿ

ââåðõ íï Åê,

êàê

ïîêàçàíî íà

ðèñ.1.4.1. Ïðè

ýòîì óðîâíè

Ôåðìè  è 

óñòàíàâëèâàþòñÿ

íà äàííîé

âûñîòå, êàê â

ñëó÷àå äâóõ

ìåòàëëîâ (íà

ðèñ.1.4.1-F).

 ýëåêòðè÷åñêèõ íåéòðàëüíûõ îáëàñòÿõ ýìèòòåðà () è áàçû () ïîëå ðàâíî íóëþ, è óðîâíè Åñ,Åv,Ei ðàñïîëîãàþòñÿ ãîðèçîíòàëüíî.  îáëàñòè Ð-N ïåðåõîäà () ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå íàïðàâëåíî ñïðàâî íàëåâî (âäîëü ãðàäèåíòà Fi).

Ðàâíîâåñíàÿ êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà â îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ âçàèìíûì ðàñïîëîæåíèåì óðîâíåé F è Fi.



 ýìèòòåðå Ð-òèïà () ôåðìèåâñêàÿ ýíåðãèÿ ìåíüøå ýëåêòðè÷åñêîé ýíåðãèè: F<Fi .

 áàçå N-òèïà: F>Fi .

 ïëîñêîñòè ôèçè÷åñêîãî ïåðåõîäà Õ-Õô âûïîëíÿåòñÿ óñëîâèå Fi(Xô)=F.

 âèäó èñêðèâëåíèÿ çàïðåùåííîé çîíû â îáëàñòè ïåðåõîäà ìåæäó ýìèòòåðîì è áàçîé ñóùåñòâóåò ýíåðãåòè÷åñêèé þàðüåð, âûñîòà êîòîðîãî ðàâíà ðàçíîñòè ýëåêòðîñòàòè÷åñêèõ ýíåðãèåé â N- è Ð-îáëàñòÿõ ðèñ.1.4.1

 (16).

Ñîîòâåòñòâåííî ïîòåíöèàëû ýìèòòåðà è áàçû îòëè÷àþòñÿ íà âåëè÷èíó , ãäå  - êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ.

Ýíåðãåòè÷åñêèé áàðüåð ïðåïÿòñòâóåò äèôôóçèîçíûì ïîòîêàì ýëåêòðîíîâ èç áàçû â ýìèòòåð è äûðîê - èç ýìèòòåðà â áàçó.

Âåëè÷èíà áàðüåðà àâòîìàòè÷åñêè ñòàíîâèòñÿ òàêîé, ÷òîáû òî÷íî ñêîìïåíñèðîâàòü äèôôóçèîííûå òîêè.

3. Òîêè ÷åðåç Ð-N ïåðåõîä â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè.

Ðàññìîòðèì çîííóþ äèàãðàììó Ð-N ïåðåõîäà. Ãðàäèåíòû êîíöåíòðàöèè ïîäâèæíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà, à òàêæå ãðàäèåíò ýëåêòðè÷åñêîãî ïîòåíöèàëà â Ð-N ïåðåõîäå âûçûâàåò ïîÿâëåíèå äèôôóçèîííûõ è äðåéôîâûõ òîêîâ ÷åðåç ïåðåõîä. Ìåõàíèçì ïðîòåêàíèÿ ýòèõ òîêîâ ñõåìàòè÷åñêè ïðåäñòàâëåí íà ðèñóíêå 1.4.1, ãäå äûðêè èçîáðàæåíû êðóæêàìè ñî çíàêîì + ýëåêòðîíû - ñî çíàêîì -.

Ïîòåíöèàëüíûé

áàðüåð

ñîçäàåò

ðàçëè÷íûå

óñëîâèÿ äëÿ

ïåðåõîäà

íîñèòåëåé â

ñìåæíûå

îáëàñòè.

Íàïðèìåð,

ýëåêòðîííûé

ñëîé N ìîæåò

ïåðåõîäèòü â

ñëîé Ð òîëüêî

â òîì ñëó÷àå,

åñëè îí

îáëàäàåò

äîñòàòî÷íîé

ýíåðãèåé äëÿ

ïðåîäîëåíèÿ

ñòóïåíè

âûñîòîé Åê,

òî åñòü åñëè

îí ñìîæåò

ïðåîäîëåòü

ñèëû

ýëåêòðè÷åñêîãî

ïîëÿ,

âûòàëêèâàþùèå

åãî èç

ïåðåõîäà

îáðàòíî â N

ñëîé. Ïåðåõîä

æå

ýëåêòðîíîâ

èç Ð-ñëîÿ â

N-ñëîé

ñîâåðøàåòñÿ

áåçïðåïÿòñòâåííî,

áîëåå òîãî,

ýëåêòðè÷åñêîå

ïîëå,

äåéñòâóþùåå

â ïåðåõîäå

ïîìîãàåò èì

(ýëåêòðîíû

êàê áû

“ñêàòûâàþòñÿ”

èç Ð-ñëîÿ). Â

ñîòîÿíèè

ðàâíîâåñèÿ

ýòè ïîòîêè

íîñèòåëåé

âçàèìíîóðàâíîâåøèâàþò

äðóã äðóãà.

Àíàëîãè÷íàÿ

ñèòóàöèÿ

ñêëàäûâàåòñÿ

â âàëåíòíîé

çîíå. Äûðêè,

÷òîáû

ïåðåéòè èç

ñëîÿ Ð â ñëîé N

äîëæíû

“îïóñòèòüñÿ”

íà ãëóáèíó

Åê. Ïîñêîëüêî

äâèæåíèå

äûðîê

âûçâàíî

ïðîòèâîïîëîæíûì

ïåðåìåùåíèåì

ýëåêòðîíîâ,

÷òîáû

ïðåîäîëåòü

áàðüåð

âûñîòîé Åê

ïðè ïåðåõîäå

èç Ð-ñëîÿ â

N-ñëîé. Òî åñòü

äûðêè,

ïåðåõîäÿùèå

èç Ð- â N-ñëîé,

äîëæíû

îáëàäàòü

ýíåðãèåé

áîëüøåé, ÷åì

ýíåðãèÿ

äåéñòâóþùåãî

â ïåðåõîäå

ýëåêòðè÷åñêîãî

ïîëÿ.

Îáðàòíîå æå

äâèæåíèå

äûðîê (èç

N-ñëîÿ â Ð-ñëîé)

ñîâåðøàåòñÿ

áåçïðåïÿòñòâåííî.

Òàêèì îáðàçîì â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè â ïåðåõîäå ïðîòåêàåò öåëûé ðÿä ñîñòàâëÿþùèõ òîêà.

Êîíöåíòðàöèè

ýëåêòðîíîâ â

çîíå

ïðîâîäèìîñòè

N-îáëàñòè

óìåíüøàåòñÿ÷

ïî ìåðå

óâåëå÷åíèÿ

èõ ýíåðãèè

îò óðîâíÿ Åñ.

Ïîä

äåéñòâèåì

õàîòè÷åñêîãî

òåïëîâîãî

äâèæåíèÿ

ýëåêòðîíû

ìîãóò

ïîïàäàòü èç

N-îáëàñòè â Ð-N

ïåðåõîä.

Íàèìåíåå

ýíåðãè÷íûå

ýëåêòðîíû ( ñ

ýíåðãèåé

áëèçêîé Åñ)

îòðàæàþòñÿ

ïîòåíöèàëüíûì

áàðüåðîì è

âîçâðàùàþòñÿ

â N-îáëàñòü.

Áîëåå

ýíåðãè÷íûå

ýëåêòðîíû

äàëüøå

ïðîíèêàþò â

îáëàñòü

ïåðåõîäà,

îäíàêî åñëè

èõ

êèíåòè÷åñêàÿ

ýíåðãèÿ

ìåíüøå

âûñîòû

áàðüåðà Åê,

îíè òàêæå

âîçâðàùàþòñÿ

â N-îáëàñòü, íå

âûçûâàÿ

òîêà ÷åðåç

ïåðåõîä è

íàêîíåö

ýíåðãè÷íûå

ýëåêòðîíû ñ

êèíåòè÷åñêîé

ýíåðãèåé

áîëüøåé Åê,

ìîãóò

ïðåîäîëåâàòü

áàðüåð. Òàêèå

íîñèòåëè

âûçûâàþò

ïðîòèêàíèå

÷åðåç

ïåðåõðîä

äèôôóçèîííîãî

ýëåêòðîííîãî

òîêà ñ

ïëîòíîñòüþ jn

äèôî(ðèñóíîê

1.4.1),

íàïðàâëåííîãî

âäîëü îñè Õ

(ïî

íàïðàâëåíèþ

ýëåêòðîííîãî

òîêà

ïðîòèâîïîëîæíî

íàïðàâëåíèþ

ïîòîêà

ýëåêòðîíîâ).

Äèôôóçèîííûé

òîê

ïîëíîñòüþ

êîìïåíñèðóåòñÿ

âñòðå÷íûì

ïîòîêîì

ýëåêòðîíîâ

èç Ð-îáëàñòè.

 Ð-îáëàñòè

ýëåêòðîíû

ÿâëÿþòñÿ

íåîñíîâíûìè

íîñèòåëÿìè

è ñîäåðæèòñÿ

â íåáîëüøîì

êîëëè÷åñòâå.

Åñëè ïîä

äåéñòâèåì

òåïëîâîãî

äâèæåíèÿ

ýëåêòðîíû

ïîïàäàþò èç

Ð-îáëàñòè â

ïåðåõîä, îíè

ïîäõâàòûâàþòñÿ

ýëåêòðè÷åñêèì

ïîëåì

ïåðåõîäà è

ïåðåõîäÿò â

N-îáëàñòü,

âûçûâàÿ

ïðîòåêàíèå

÷åðåç

ïåðåõîä

äðåéôîâîãî

òîêà

ýëåêòðîíîâ ,

íàïðàâëåííîãî

ïðîòèâ îñè Õ

(âäîëü ïîëÿ). Â

ñîñòîÿíèè

òåðìîäèíàìè÷åñêîãî

ðàâíîâåñèÿ

äèôôóçèîííûé

è äðåéôîâûé

òîêè

ýëåêòðîíîâ â

òî÷íîòè

êîìïåíñèðóþò

äðóã äðóãà: (17).

Àíàëîãè÷íûì îáðàçîì êîìïåíñèðóþòñÿ äèôôóçèîííàÿ è äðåéôîâàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ äûðî÷íîãî òîêà: (18).

Êðîìå

ðàññìîòðåííûõ

ìåõàíèçìîì

ïðîòåêàíèÿ

òîêîâ,

ñóùåñòâóþò

òîêè,

ñâÿçàííûå ñ

ïðîöåññàìè

òåðìîãåíåðàöèè

è

ðåêîìáèíàöèè

ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ

ïàð â

îáëàñòè

ïåðåõîäà.

Äûðêè è

ýëåêòðîíû,

ïðîíèêàþùèå

â ïåðåõîä ñî

ñòîðîíû Ð- è

N-îáëàñòåé

ñîîòâåòñòâåííî,

èìåþò

êîíå÷íóþ

âåðîÿòíîñòü

ðåêîìáåíèðîâàòü

â ïåðåõîäå, ñ

ýòèì

ïðîöåññîì

ñâÿçàí òîê,

ïðîòåêàþùèé

â

íàïðàâëåíèè

îñè Õ. Ñ

äðóãîé

ñòîðîíû, ïðè

òåðìîãåíåðàöèè

ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ

ïàð â

ïåðåõîäå

îáðàçîâàâøèåñÿ

íîñèòåëè

çàðÿäà

ïîäõâàòûâàþòñÿ

ýëåêòðè÷åñêèì

ïîëåì, ïðè÷åì

ýëåêòðîíû

ïåðåíîñÿòñÿ

â N-îáëàñòü, à

äûðêè â

Ð-îáëàñòü.

Âîçíèêàþùèé

ïðè ýòîì òîê

òåðìîãåíåðàöèè

íàïðàâëåí

ïðîòèâ îñè Õ

(âäîëü ïîëÿ) è â

òî÷íîñòè

êîìïåíñèðóåò

òîê

ðåêîìáèíàöèè:

(19).

Ñóììàðíàÿ ïëîòíîñòü òîêà ÷åðåç ïåðåõîäû â ñîñòîÿíèè ðàâåíñòâà ðàâíû íóëþ: (20).

Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî êàæäûé èç ðàññìîòðåííûõ òîêîâ èìååò ìàëóþ âåëè÷èíó.Äðåéôîâûå òîêè ìàëû ââèäó òîãî, ÷òî ïåðåíîñÿòñÿ íåîñíîâíûìè íîñèòåëÿìè â Ð- è N-îáëàñòÿõ, êîíöåíòðàöèÿ êîòîðûõ î÷åíü íèçêà.

Äèôôóçèîííûå òîêè òàêæå ìàëû ââèäó òîãî, ÷òî ïåðåíîñÿòñÿ òîëüêî íàèáîëåå ýíåðãè÷íûìè íîñèòåëÿìè ñ êèíåòè÷åñêîé ýíåðãèåé, áîëüøå âûñîòû Åê, ÷èñëî êîòîðûõ òàêæå íåâåëèêî. Òîêè ðåêîìáèíàöèè ìàëû ââèäó ìàëûõ ðàçìåðîâ Ð-N ïåðåõîäà (÷èñëî ãåíåðèðîâàííûõ ïàð ìàëî) è ìàëî âðåìåíè ïðåáûâàíèÿ íîñèòåëåé â ïåðåõîäå (÷èñëî ðåêîìáåíèðóþùèõ ïàð ìàëî).

1.5 ÌÅÒÎÄÈÊÀ ÐÀÑ×ÅÒÀ ÏÀÐÀÌÅÒÐΠÐ-N ÏÅÐÅÕÎÄÀ.

Îñíîâíûìè ïàðàìåòðàìè Ð-N ïåðåõîäà ÿâëÿþòñÿ:

-êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ;

-øèðèíà ïåðåõîäà ;

-ìàêñèìàëüíàÿ íàïðèæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ .

Íåîáõîäèìî òàêæå çíàòü ïðîòÿæåííîñòü ïåðåõîäà â N- è Ð-îáëàñòè ïî îòäåëüíîñòè() è ðàñïðåäåëåíèÿ íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â ïåðåõîäå .

Êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåöèàëîâ ìîæåò áûòü îïðåäåëèíà ñ ïîìîùüþ ñîîòíîøåíèé:(14), (15) è (*).Ó÷èòûâàÿ, ÷òî êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà íà ãðàíèöàõ ïåðåõîäà (â ïëîñêîñòÿõ õ=, õ=) ñîîòâåòñòâóåò ðàâíîâåñíûì çíà÷åíèÿì, ïîëó÷èì:



Ïåðåìíîæàÿ ðàâåíñòâî (21), (22) ñ ó÷åòîì (*),(8) è (9) ïîëó÷èì:



Ðàâåíñòâî (24) ñâèäåòåëüñòâóåò î òîì, ÷òî êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ îïðåäåëÿåòñÿ îòíîøåíèåì êîíöåíòðàöèé îäíîòèïíûõ íîñèòåëåé ïî ðàçíûå ñòîðîíû ïåðåõîäà, ÷òî ÿâëÿåòñÿ ïðÿìûì ñëåäñòâèåì ñòàòèñòèêè Ìàêñâåëëà Áîëüöìàíà â íåâûðàæäåííîì ïîëóïðîâîäíèêå.

.

Äëÿ ïðàêòè÷åñêèõ öåëåé óäîáíî ïîëüçîâàòüñÿ ñîîòíîøåíèåì (26), ïîçâîëÿþùèì âû÷èñëèòü êîíòàêòíóþ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ íåïîñðåäñòâåííî ÷åðåç êîíöåòðàöèè ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé.

Èç ðèñ. 1.4.1 âèäíî, ÷òî ïðè îòñóòñòâèè âûðîæäåíèÿ (êîãäà óðîâåü Ôåðìè ëåæèò â çàïðåùåííîé çîíå) âûñîòà ïîòåíöèàëüíîãî áàðüåðà íå ìîæåò ïðåâûøàòü øèðèíû çàïðåùåííîé çîíû Å.

Ïðè ýòîì:

Èç ðèñ. 1.4.1 âèäíî, ÷òî êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ óâåëè÷èâàåòñÿ ñ óâåëè÷åíèåì ëåãèðîâàíèÿ ýìèòòåðà è áàçû. Ïåðåõîäû, èçãîòîâëåííûå íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêà ñ áîëüøîé øèðèíîé çàïðåùåííîé çîíû (è, ñëåäîâàòåëüíî, ìåíüøåé ñîáñòâåííîé êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà ), èìåþò áîëüøóþ êîíòàêòíóþ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ.

Îñíîâíûì äîïóùåíèåì ïðè àíàëèçå ïåðåõîäà ÿâëÿåòñÿ ïåðåíåáðåæåíèå êîíöåíòðàöèÿìè ïðèìåñåé. Ïðè ýòîì ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè îáúåìíîãî çàðÿäà îïèñûâàåòñÿ ñîîòíîøåíèåì:



Ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå ìîæåò áûòü íàéäåíî èç óðàâíåíèÿ Ïóàññîíà:



Ïðè ýòîì êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ðàâíà:



Ïîñêîëüêó ôóíêöèÿ  ìåíÿåò çíàê â òî÷êå Õ=0, à íà ãðàíèöàõ ïåðåõîäà â ïîëå ðàâíî íóëþ - íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ ñîñòàâëÿåò:

(30).

Óñëîâèå (30) ñîîòâåòñòóåò ýëåêòðè÷åñêîé íåéòðàëüíîñòè Ð-N ïåðåõîäà â öåëîì:

(31).

Óðàâíåíèå (26), (29) è (31) ìîãóò áûòü ðåøåíû îòíîñèòåëüíî íåèçâåñòíûõ  è  ïîñëå ÷åãî èç (30) îïðåäåëÿåòñÿ ìàêñèìàëüíîå ïîëå â Ð-N ïåðåõîäå.

Ðàñ÷åò ïàðàìåòðîâ ñóïåí÷àòîãî Ð-N ïåðåõîäà.

Íàèáîëåå ïðîñòî îïðåäåëÿþòñÿ ïàðàìåòðû ñòóïåí÷àòîãî Ð-N ïåðåõîäà, òàê êàê â ýòîì ñëó÷àå ôóíêöèè N(x) èìååò âèä:



à çíà÷åíèå ãðàíè÷íûõ óñëîâèé êîíöåíòðàöèé ïðèìåñè  è  èçâåñòíû:

 (33);

 (34).

Êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ îïðåäåëÿåòñÿ èç óðàâíåíèÿ (26):

 (35);

Ïîäñòàâëÿÿ â (33), (26) è (29) ñ ó÷åòîì î÷åâèäíîãî ñîîòíîøåíèÿ  ïîëó÷èì:

 (36);

 (37);

 (39).

Ìàêñèìàëüíàÿ íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ îïðåäåëÿåòñÿ èç (28):

 (40).

Èç (36) ñëåäóåò, ÷òî ïðè óñëîâèè  ïðàêòè÷åñêè âåñü ïåðåõîä ñîñðåäîòî÷åí â îáëàñòè áàçû ().

Ïîñêîëüêî âåëè÷èíà  ñëàáî ëîãàðèôìè÷åñêè çàâèñèò îò êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè â ýìèòòåðå, ïðè  ïàðàìåòðû ïåðåõîäà îïðåäåëÿþòñÿ ïðàêòè÷åñêè òîëüêî ñâîéñòâîì áàçû:

 (41);

 (42).

1.6 Ñïèñîê îñíîâíûõ îáîçíà÷åíèé

 - êîíöåíòðàöèÿ àêöåïòîðíîé (äîíîðíîé) ïðèìåñè;

 - ðåçóëüòèðóþùàÿ êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè;

 - àáñîëþòíàÿ âåëè÷èíà ðåçóëüòèðóþùåé ïðèìåñè â ýìèòòåðå (áàçå);

 - ñîáñòâåííàÿ êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé çàðÿäà;

 - êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â n(p) îáëàñòè;

 - êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â p (n) îáëàñòè;

 - ðàâíîâåñíàÿ êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â p (n) îáëàñòè;

 - ðàâíîâåñíàÿ êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â p (n) îáëàñòè;

 - èçáûòî÷íàÿ êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â n (p) îáëàñòè;

 - èçáûòî÷íàÿ êîíöåíòðàöèÿ äûðîê â p (n) îáëàñòè;

F - ýíåðãèÿ Ôåðìè;

 - íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ;

 - ýëåêòðè÷åñêèé ïîòåíöèàë;

 - òåìïåðàòóðíûé ïîòåíöèàë;

 - êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ;

U - íàïðÿæåíèå;

I - òîê;

j - ïëîòíîñòü òîêà;

 - ïîäâèæíîñòü ýëåêòðîíîâ (äûðîê);

 - êîýô. äèôôóçèè ýëåêòðîíîâ (äûðîê);

 - âðåìÿ æèçíè ýëåêòðîíîâ (äûðîê);

 - äèôôóçèîííàÿ äëèíà ýëåêòðîíîâ (äûðîê);

 - äåáàåâñêàÿ äëèíà ýêðàíèðîâàíèÿ;

l - øèðèíà p-n ïåðåõîäà.

1.7 Îñíîâíûå ôèçè÷åñêèå êîíñòàíòû è ïàðàìåòðû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ



1.8 Ðàñ÷åòíàÿ ÷àñòü

Ðàñ÷èòàòü ìàêñèìàëüíóþ íàïðÿæåííîñòü Ð-N ïåðåõîäà äëÿ ñëó÷àÿ:

; ; ; ; ;  Ê;

.



Èñïîëüçóåì óðàâíåíèå ,

ãäå: k - ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà ;

Ò - àáñîëþòíàÿ òåìïåðàòóðà;

å - çàðÿä ýëåêòðîíà .

.

; .

;

.

2. Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîöåññû èîííî-ïëàçìåíîãî ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê.

Èîííî-ïëàçìåííûå ìåòîäû ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê â ïîñëåäíèå äåñÿòèëåòèå ïîëó÷èëè øèðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå â òåõíîëîãèè ÐÝÀ áëàãîäîðÿ ñâîåé óíèâåðñàëüíîñòè è ðÿäó ïðåèìóùåñòâ ïî ñðàâíåíèþ ñ äðóãèìè òåõíîëîãè÷åñêèìè ìåòîäàìè. Óíèâåðñàëüíîñòü ìåòîäîâ îïðåäåëÿåòñÿ òåì, ÷òî ñ èõ ïîìîùüþ ìîæíî îñóùåñòâèòü ðàçëè÷íûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîöåññû: î÷èñòêó ïîäëîæåê, íàïûëåíèå ñëîåâ, òðàâëåíèå ñ öåëüþ ñîçäàíèÿ çàäàííîãî ðèñóíêà ÈÌÑ. Ê ïðåèìóùåñòâàì ìåòîäà îòíîñèòñÿ âîçìîæíîñòü ïðîâåäåíèÿ íàïûëåíèÿ è òðàâëåíèÿ ïðè íåâûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ è áåç ïðèìåíåíèÿ æèäêèõ õèìè÷åñêèõ ðåàãåíòîâ è ðàñòâîðèòåëåé.

Îþû÷íî èñòî÷íèêîì áîìáàðäèðóþùèõ ÷àñòèö ñëóæèò ïëàçìà. Îíà ÿâëÿåòñÿ òåì “ðåàãåíòîì”, êîòîðûé îáåñïå÷èâàåò ïðîöåññû ðàñïûëåíèÿ è òðàâëåíèÿ ñëîåâ òâåðäîãî òåëà. Ðàññìîòðèì êðàòêî åå õàðàêòåðèñòèêè.

2.1 Õàðàêòåðèñòèêè ïëàçìû è åå ïàðàìåòðû.

Ïëàçìîé íàçûâàþò èîíèçèðîâàííûé ãàç, êîòîðûé ñîñòîèò èç òðåõ âèäîâ ÷àñòèö: èîíîâ, ýëåêòðîíîâ è íåéòðàëüíûõ àòîìîâ (ìîëåêóë). Ýëåêòðè÷åñêèå ñèëû, ñâÿçûâàÿ ðàçíîèìåííî çàðÿæåííûå ÷àñòèöû, îáåñïå÷èâàþò êâàçèíåéòðàëüíîñòü ïëàçìû. Ñîñòîÿíèå ïëàçìû, èñïîëüçóååìîé â òåõíîëîãè÷åñêèõ öåëÿõ, ìîæíî îïèñàòü ñ ïîìîùüþ óðàâíåíèé êëàññè÷åèêîé ôèçèêè, ïîñêîëüêó êâàíòîâûå ýôôåêòû â ýòîì ñëó÷àå íå èãðàþò çàìåòíîé ðîëè.  òàáëèöå 2.1.1 ïðåäñòàâëåíû îñíîâíûå ïàðàìåòðû ïëàçìû, âëèÿþùèå íà ïðîòåêàþùèå â íåé ïðîöåññû.

òàáëèöà 2.1.1.Ïàðàìåòðû ïëàçìû, âëèÿþùèå íà ïðîòåêàþùèå â íåé ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîöåññû



Ïëåíêè ïîëó÷àþò èííî-ïëàçìåííûì è ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèÿìè. Âíà÷àëå ðàññìîòðèì ïîëó÷åíèå ïëåíîê ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèåì.

2.2 Ïîëó÷åíèå ïëåíîê ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèåì

Ñòðåìëåíèå îñóùåñòâèòü èîííî-ïëàçìåííûå ïðîöåññû â âûñîêîì âàêóóìå è ïîâûñèòü èõ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü çà ñ÷åò ðîñòà ñêîðîñòåé ðàñïûëåíèÿ ïðèâåëî ê ñîçäàíèþ ìåòîäà ìàãíåòðîííîãî ðàñïûëåíèÿ. Ïðè ýòîì ýëåêòðîíû, ýìèòòèðóåìûå èç ìèøåíè ïàäàþùèìè èîíàìè, çàõâàòûâàþòñÿ ìàãíèòíûì ïîëåì è ïîä äåéñòâèåì åãî ñîâåðøàþò ñëîæíîå öèêëîèäàëüíîå äâèæåíèå ïî çàìêíóòûì òðàåêòîðèÿì âáëèçè ïîâåðõíîñòè ìèøåíè.

Ýòîò ìåòîä ðàñïûëåíèÿ ïîëó÷èë ñâîå íàçâàíèå îò ÑÂ× ïðèáîðîâ Ì-òèïà (ìàãíåòðîííûõ óñòðîéñòâ) èç-çà íàëè÷èÿ â ðàáî÷åé êàìåðå ñðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîãî è ìàãíèòíîãî ïîëåé.

Áîëåå âûñîêàÿ ïëîòíîñòü ïîòîêà èîíîâ, ÷åì ïðè êàòîäíîì ðàñïûëåíèè, è áîëüøàÿ óäåëüíàÿ ìîùíîñòü, ðàññåèâàåìàÿ íà ìèøåíè, óâåëè÷èâàþò ñêîðîñòü ðàñïûëåíèÿ ìàòåðèàëà.

Äâèæåíèå çàðÿæåííûõ ÷àñòèö â ïëàçìå ïðè ìàãíåòðîííîì ðàñïûëåíèè ïîçâîëÿåò óñòàíîâèòü îñíîâíûå çàêîíîìåðíîñòè ýòîãî ìåòîäà ïîëó÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ.

Îïèñàòüò òðàåêòîðèþ äâèæåíèÿ ýëåêòðîíîâ â ñêðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíîì ïîëÿõ ìîæíî, ðàçëîæèâ ýòî äâèæåíèå íà äâå ñîñòàâëÿþùèå:äèôôóçèîííóþ è íàïðàâëåíóþ. Ïðåîáëàäàíèå òîé èëè èíîé ñîñòàâëÿþùåé çàâèñèò îò äàâëåíèÿ ãàçà ð è íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ Å. Îòíîøåíèå Å/ð õàðàêòåðåçóåò äâèæåíèå ÷àñòèö.

Ýôôåêòèâíîñòü ðàáîòû ìàãíåòðîííîé ðàñïûëèòåëüíîé ñèñòåìû (ÌÐÑ) çàâèñèò îò ïðàâèëüíîãî âûáîðà ïàðàìåòðîâ ÒÏ è èõ ñòàáèëüíîñòè.

Îñíîâíûì òèïîì äâèæåíèÿ çàðÿæåííîé ÷àñòèöû â ïëîñêîñòè, ïåðïåíäèêóëÿðíûé ìàãíèòíîìó ïîëþ, ÿâëÿåòñÿ öèêëîòðîííîå âðàùåíèå.Ãëàâíûìè ïàðàìåòðàìè ýòîãî äâèæåíèÿ ÿâëÿþòñÿ: öèêëîòðîííûé ðàäèóñ âðàùåíèÿ ÷àñòèöû (ëàðìîðîâñêèé ðàäèóñ) rë, öèêëîòðîííàÿ ÷àñòîòà .

Ñîâìåñòíîå

äåéñòâèå

ýëåêòðè÷åñêîãî

è

ìàãíèòíîãî

ïîëåé

âûçûâàåò

äðåéô

çàðÿæåííîé

÷àñòèöû â

íàïðàâëåíèè,

ïåðïåíäèêóëÿðíîì

îáîèì

ïîëÿì.Òðàåêòîðèÿ

÷àñòèöû ïðè

äâèæåíèè

áåç

íà÷àëüíîé

ñêîðîñòè â

îäíîðîäíîì

ýëåêòðè÷åñêîì

è

ìàãíèòíîì

ïîëÿõ

ïðåäñòàâëÿåò

ñîáîé

öèêëîèäó. Â

ñêðåùåííûõ

ýëåêòðè÷åñêîì

è

ìàãíèòíûõ

ïîëÿõ ìîãóò

ñóùåñòâîâàòü

è äðóãèå

òèïû

äðåéôîâûõ

äâèæåíèé,

íàïðèìåð

ãðàäèåíòíîå

è

öåíòðîáåæíîå,

âûçûâàåìûå

íåîäíîðîäíîñòüþ

ìàãíèòíîãî

ïîëÿ è

èñêðèâëåíèåì

åãî ñèëîâûõ

ëèíèé.

Ñêîðîñòè

ýòèõ âèäîâ

äâèæåíèé

çàâèñÿò îò

ìàññû è

çàðÿäà

÷àñòèö, ÷òî

ïðèâîäèò ê

ðàçäåëåíèþ

çàðÿäîâ è

ïîÿâëåíèþ

òîêîâ.

Ñóìàðíàÿ

ñêîðîñòü

äâèæåíèÿ

çàðÿæåííîé

÷àñòèöû â

ìàãíèòíîì

ïîëåì ñ

èçîãíóòûìè

ñèëîâûìè

ëèíèÿìè

ñëàãàåòñÿ

èç

ñêîðîñòåé

ãðàäèåíòíîãî

è

öåíòðîáåæíîãî

äðåéôîâ.

 ÌÐÑ íåîäíîðîäíûìè ÿâëÿþòñÿ êàê ýëåêòðè÷åñêàÿ, òàê è ìàãíèòíîå ïîëÿ, ïîýòîìó â ïëàçìå ðàçðÿäà ñóùåñòâóþò âñå ïåðå÷èñëåííûå òèïû äðåéôîâûõ äâèæåíèé çàðÿæåííûõ ÷àñòèö.

Ïðè íèçêîì äàâëåíèè ðàçðÿä â ÌÐÑ ñ õîëîäíûì êàòîäîì ïîääåðæèâàåòñÿ òîëüêî çà ñ÷åò âòîðè÷íûõ ýëåêòðîíîâ, ýìèòòèðóåìûõ ñ êàòîäà â ðåçóëüòàòå èîííîé áîìáàðäèðîâêè. Âûáèòûå èç êàòîäà ýëåêòðîíû óñêîðÿþòñÿ â îáëàñòè òåìíîãî êàòîäíîãî ïðîñòðàíñòâà (ÒÊÏ) è ñ áîëüøèìè ýíåðãèÿìè âõîäÿò â îáëàñòü ïëàçìû, ãäå ñîâåðøàþò èîííèçèðóþùåå ñòîëêíîâåíèÿ ñ àòîìàìè ðàáî÷åãî ãàçà äî òåõ ïîð, ïîêà íå ïîòåðÿþò ýíåðãèþ èëè íå ïîïàäóò íà àíîä.

Êàê ïðàâèëî, 

ó èîíîâ

áîëåå ÷åì íà

äâà ïîðÿäêà

âûøå, ÷åì ó

ýëåêòðîíîâ,

ïîýòîìó ïðè

èñïîëüçóåìûõ

â ÌÐÑ

ìàãíèòíûõ

ïîëÿõ è â

íåáîëüøîé

îáëàñòè

ñóùåñòâîâàíèÿ

ïëàçìû

ìàãíèòíîå

ïîëå

ïðàêòè÷åñêè

íå âëèÿåò íà

òðàåêòîðèþ

äâèæåíèÿ

èîíîâ,

êîòîðûå ïîä

äåéñòâèåì

ýëåêòðè÷åñêîãî

ïîëÿ

ñâîáîäíî

äâèæóòñÿ ê

ìèøåíè ïî

òðàåêòîðèÿì,

áëèçêèì ê

ïðÿìîëèíåéíûì.

Ýëåêòðîíû æå,

ïåðåìåùàÿñü

ïî ñëîæíûì

òðàåêòîðèÿì

â îáëàñòè

ìàãíèòíîé

ëîâóøêè,

ñîâåðøàþò

ìíîãîêðàòíûå

ñòîëêíîâåíèÿ

ðàáî÷åãîî

ãàçà.

Ñëåäîâàòåëüíî,

ñïðàâåäëèâî

ïðåäïîëîæèòü,

÷òî

îñíîâíóþ

ðîëü â

ïðîöåññàõ

îáðàçîâàíèÿ

è

ïîääåðæàíèÿ

ïëàçìû â

ìàãíåòðîííûõ

ðàñïûëèòåëüíûõ

ñèñòåìàõ

èãðàþò

ýëåêòðîíû.

Äëÿ óäîáñòâà

àíàëèòè÷åñêîãî

îïèñàíèÿ

òðàåêòîðèþ

ìîæíî

ñ÷èòàòü

öèêëîèäàëüíîé.

Ýäåêòðîí,

óñêîðàÿñü â

îáëàòñè

òåìíîãî

êàòîäíîãî

ïðîñòðàíñòâà

(ÒÊÏ) øèðèíîé

 ïî

òðàåêòîðèè,

áëèçêîé ê

öèêëîèäàëüíîé,

óäàëÿåòñÿ îò

êàòîäà íà

ðàññòîÿíèå 

è ïîïàäàåò â

îáëàñòü

ïëàçìû. Â

îáùåì

ñëó÷àå .

Åñëè

ñ÷èòàòü ýòè

âåëè÷èíû

áëèçêèìè ïî

çíà÷åíèþ, à

ýëåêòðè÷åñêîå

ïîëå â

îáëàñòè ÒÊÏ

äîñòàòî÷íî

îäíîðîäíûì,

òî , ò.å.

ýëåêòðîí

óäàëÿåòñÿ îò

êàòîäà íà

ðàññòîÿíèå

ëàðìîðîâñêèõ

ðàäèóñîâ.

Øèðèíó ÒÊÏ (2.2.1) ìîæíî ñ÷èòàòü ìàêñèìàëüíî âîçìîæíîé, ïîñêîëüêó â ýòîì ñëó÷àå ïðàêòè÷åñêè âñå ýëåêòðîíû ñ êàòîäà äâèæóòñÿ â îáëàñòè ÒÊÏ è íå çàõîäÿò â îáëàñòü îòðèöàòåëüíîãî ñâå÷åíèÿ ïëàçìû, ãäå îíè ýôôåêòèâíî èîíèçèðóþò ãàç. Ðåàëüíóþ øèðèíó ÒÊÏ ìîæíî ïðèáëèæåííî âûðàçèòü ÷åðåç ïëîòíîñòü èîííîãî òîêà ïî ôîðìóëå ×àéëäà-Ëåíãìþðà:  (2.2.2),

ãäå  - ìàññà èîíà, êã;  - ïëîòíîñòü èîííîãî òîêà êàòîäà, .

Åñëè ýëåêòðîí íå ñòîëêíîòñÿ íà ñâîåì ïóòè ñ äðóãîé ÷àñòèöåé, òî îí âîçâðàùàåòñÿ ê êàòîäó è çàõâàòûâàåòñÿ èì. Âåðîÿòíîñòü çàõâàòà äîëæíà áûòü äîâîëüíî âûñîêé, ïîñêîëüêó äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíà çíà÷èòåëüíî áîëüøå äëèíû öèêëîèäû. Îäíàêî èç-çà âîëíîâûõ ïðîöåññîâ â ïëàçìå è íåîäíîðîäíîñòè ìàãíèòíîãî è ýëåêòðè÷åñêèõ ïîëåé âåðîÿòíîñòü çàõâàòà óìåíüøàåòñÿ è íå ïðåâûøàåò 0,5.

Ýëåêòðîíû, êîòîðûå ïîïàäàþò â ìàãíèòíóþ ëîâóøêó è íå âîçâðàùàþòñÿ íà êàòîä, ñîâåðøàþò èîíèçèðóþùåå ñòîëêíîâåíèÿ â ïëàçìå è ïåðåìåùàþòñÿ â ñòîðîíó àíîäà. Ïîñëå íåñêîëüêèõ ñòîëêíîâåíèé ýëåêòðîíû òåðÿþò ýíåðãèþ è äèôôóíäèðóþò ê àíîäó. Îáëàñòü ñóùåñòâîâàíèÿ ïëàçìû îãðàíè÷èâàåòñÿ ïðåäåëàìè, â êîòîðûõ ýëåêòðîíû òåðÿþò ñâîþ ýíåðãèþ. Ãðàíèöà ýòîé îáëàñòè â ðàçðÿäå ÌÐÑ ÿâëÿåòñÿ, ïî ñóùåñòâó, óñëîâíûì àíîäîì.

Ðåàëüíûé àíîä ÌÐÑ äîëæåí ðàñïîëîãàòüñÿ îò öåíòðà çîíû ðàñïûëåíèÿ íà ðàññòîÿíèè íå ìåíüøå ðàñòîÿíèÿ îò êàòîäà äî óñëîâíîãî àíîäà, òàê êàê â ïðîòèâíîì ñëó÷àå îí áóäåò çàõâàòûâàòü èç ìàãíèòíîé êàòóøêè ýëåêòðîíû, ñïîñîáíûå èîíèçèðîâàòü ãàç, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ýôôåêòèâíîñòü ðàçðÿäà óìåíüøèòñÿ. Ïðè ïåðåôåðèéíîì ðàñïîëîæåíèè â ïëîñêèõ ÌÐÑ àíîä äîëæåí óñòàíàâëèâàòüñÿ âíå îáëàñòåé âõîäà è âûõîäà ñèëîâûõ ëèíèé ìàãíèòíîãî ïîëÿ.

Ëîêàëèçàöèÿ ïëàçìû àíîìàëüíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà ó ðàñïûëÿåìîé ïîâåðõíîñòè ìèøåíè ÿâëÿåòñÿ îäíîé èç îñîáåííîñòåé ÌÐÑ. Ïðè ýòîì ïëàçìà èìååò ôîðìó, áëèçêóþ ê òîðîèäàëüíîé; ñòåïåíü åå èîíèçàöèè ìàêñèìàëüíà â öåíòðàëüíîé ÷àñòè íàä çîíîé ðàñïûëåíèÿ. Ïðè÷èíà ëîêàëèçàöèè ïëàçìû îòíîñèòåëüíî ñðåäíåé ëèíèè çîíû ðàñïûëåíèÿ îáúÿñíÿåòñÿ íåîäíîðîäíîñòüþ ìàãíèòíîãî è ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëåé.

Ôîðìèðîâàíèå

ïðîñòðàíñòâåííûõ

çàðÿäîâ

ïëàçìû â

ñêðåùåííûõ

ýëåêòðè÷åñêîì

è

ìàãíèòíîì

ïîëÿõ,

îáðàçóåìûõ

êîàêñèàëüíûìè

öèëèíäðè÷åñêèìè

ýëåêòðîäàìè,

è ñòðóêòóðà

ðàçðÿäà

çàâèñÿò îò

õàðàêòåðèñòèê

ìàãíèòíîãî

ïîëÿ. Ïðè

äîñòàòî÷íî

ñèëüíîì

ìàãíèòíîì

ïîëå ïî÷òè

âñå ïàäåíèå

íàïðÿæåíèÿ

ïðîèñõîäèò â

àíîäíîì

ñëîå.

Ýëåêòðîíû,

óñêîðÿÿñü â

ýòîé

îáëàñòè,

èîíèçèðóþò

àòîìû ãàçà,

â ðåçóëüòàòå

÷åãî

äîìèíèðóþùåé

îáëàñòüþ

èîíèçàöèè

ñòàíîâèòñÿ

ïðèàíîäíàÿ

îáëàñòü.

Òàêèì

îáðàçîì, ïðè

ñêðåùåííûõ

ýëåêòðîìàãíèòíûõ

ïîëÿõ ìîãóò

íàáëþäàòüñÿ

òðè òèïà

ðàçðÿäà â

çàâèñèìîñòè

îò

íàïðÿæåííîñòè

ìàãíèòíîãî

ïîëÿ: 1) Ðàçðÿä â

îáëàñòè

êàòîäíîãî

ïàäåíèÿ

ïîòåíöèàëà; 2)

ðàçðÿä â

îáëàñòè

àíîäíîãî

ïàäåíèÿ

ïîòåíöèàëà; 3)

ðàçðÿä ïðè

îäíîâðåìåííîì

ñóùåñòâîâàíèè

îáåèõ

îáëàñòåé.

Ïåðâûé òèï ðàçðÿäà íàáëþäàåòñÿ â îáû÷íûõ ðàñïûëèòåëüíûõ ñèñòåìàõ â ìàãíåòðîííûõ ñèñòåìàõ ñî ñëàáûì ìàãíèòíûìè ïîëÿìè (B=0,01-0,03 Òë). Îí õàðàêòåðèçóåòñÿ íàëè÷èåì ó êàòîäà îáëàñòè ñ ïîëîæèòåëüíûì ïðîñòðàíñòâåííûì çàðÿäîì. Èíäóêöèÿ ìàãíèòíîãî ïîëÿ, ïðè êîòîðîì âîçíèêàåò ýòîò òèï ðàçðÿäà, çàâèñèò îò êîíêðåòíîé ðàçðÿäíîé ñèñòåìû, ðàáî÷åãî äàâëåíèÿ è ðÿäà äðóãèõ ôàêòîðîâ.

Äëÿ ðàñïûëåíèÿ ìàòåðèàëà íàèáîëåå ýôôåêòèâåí ðàçðÿä ñ ïîëîæèòåëüíûì ïðîñòðàíñòâåííûì çàðÿäîì è êàòîäíûì ïàäåíèåì ïîòåíöèàëà. Ðàçðÿä ïðè îäíîâðåìåííîì ñóùåñòâîâàíèè êàòîäíîãî è çíà÷èòåëüíîãî àíîäíîãî ïîòåíöèàëîâ òàêæå ýôôåêòèâåí, ïîñêîëüêó îí îáåñïå÷èâàåò ðàâíîìåðíîå ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè òîêà íà ðàñïûëÿåìîé ïîâåðõíîñòè ìèøåíè.

Âëèÿíèå ìàãíèòíîãî ïîëÿ è äàâëåíèÿ íà ðàçðÿä ñóùåñòâåííî.  îáû÷íûõ èîííî-ïëàçìåííûõ ðàñïûëèòåëüíûõ ñèñòåìàõ ðàñïûëåíèå âîçìîæíî ïðè äàâëåíèÿõ , ãäå  - äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíà ïðè äàííîì äàâëåíèè.  ÌÐÑ ìàãíèòíîå ïîëå óâåëè÷èâàåò òðàåêòîðèþ äâèæåíèÿ ýëåêòðîíîâ â ìåæýëåêòðîäíîì ïðîìåæóòêå, à ñëåäîâàòåëüíî, âîçðàñòàåò è ÷èñëî ñòîëêíîâåíèé ñ àòîìàìè ðàáî÷åãî ãàçà.  ðåçóëüòàòå ýòîãî ðàçðÿä ñóùåñòâóåò ïðè áîëåå íèçêèõ äàâëåíèÿõ.

Òàêèì îáðàçîì, ìîæíî ñ÷èòàòü, ÷òî íàëîæåíèå ìàãíèòíîãî ïîëÿ ýêâèâàëåíòíî óâåëå÷åíèþ äàâëåíèÿ ãàçà.

Àíàëèç ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, ïðîèñõîäÿùèõ â ÌÐÑ, ïîçâîëÿåò âûáðàòü îïòèìàëüíûå êîíñòðóêòèâíûå è òåõíîëîãè÷åñêèå õàðàêòêåðèñòèêè ýòèõ ñèñòåì. Íàèáîëåå ïîëíóþ èíôîðìàöèþ î ìåõàíèçìå ðàçðÿäà ìîæíî ïîëó÷èòü, ïîñòðîèâ ÂÀÕ ÌÐÑ (ðèñ.2.2.1).



Ðèñóíîê 2.2.1. ÂÀÕ ïëàíàðíîé ÌÐÑ; 1- ð=0,1 Ïà; 2 - ð=0,25 Ïà; 3 - ð=1,3 Ïà.

Êàê âèäíî èç ðèñóíêà 2.2.1, ÂÀÕ ÌÐÑ, ïîñòðîåííûå â ëîãàðèôìè÷åñêîì ìàñøòàáå, ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé ëèíåéíûå çàâèñèìîñòè. Çíà÷èòåëüíîå îòêëîíåíèå îò ëèíåéíîñòè íàáëþäàåòñÿ ëèøü ïðè íèçêèõ äàâëåíèÿõ è íåáîëüøèõ èíäóêöèÿõ ìàãíèòíîãî ïîëÿ. Ýòî ÿâëÿåòñÿ ðåçóëüòàòîì óòå÷êè ýëåêòðîíîâ èç îáëàñòè ïëàçìû âñëåäñòâèè òîãî, ÷òî èõ öèêëîòðîííûé ðàäèóñ ïðè ñëàáûõ ìàãíèòíûõ ïîëÿõ ïðåâûøàåò ðàññòîÿíèå ìåæäó êàòîäîì è àíîäîì.

ÂÀÕ ðàçðÿäà â ÌÐÑ ìîæíî ýêñòðàïîëèðîâàòü âûðàæåíèåì I=K2(U-UÇ)2,(2.2.3)

ãäå K2 - êëýôôèöèåíò ïðîïîðöèîíàëüíîñòè; UÇ - íàïðÿæåíèå çàæèãàíèÿ ðàçðÿäà.

Çàâèñèìîñòü êîýôôåöèåíòà K2 îò ïàðàìåòðîâ ÌÐÑ â êàæäîì êîíòêðåòíîì ñëó÷àå îïðåäåëÿåòñÿ ýìïèðè÷åñêè. Ðàáî÷åå íàïðÿæåíèå ÌÐÑ çàâèñèò îò äàâëåíèÿ ð â íåé ðàáî÷åãî ãàçà è èíäóêöèè ìàãíèòíîãî ïîëÿ. Çàâèñèìîñòü ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ îò èíäóêöèè ìîæíî ïðåäñòàâèòü â âèäå:

U=K3Bn,(2.2.4)

ãäå K3 êîýôôèöèåíò ïðîïîðöèîíàëüíîñòè; n=-(1-2) äëÿ ñëàáûõ ìàãíèòíûõ ïîëåé è 0,3...0,5 äëÿ ñèëüíûõ. Ñòàáèëüíûé ðàçðÿä ñóùåñòâóåò â îáëàñòè îïðåäåëåííûõ çíà÷åíèèé B è ð; ×åì íèæå ð, òåì ïðè áîëüøèõ  ìîæåò ñóùåñòâîâàòü ðàçðÿä.

2.3 Ïîëó÷åíèå ïëåíîê èîííî-ïëàçìåííûì ðàñïûëåíèåì

Ðàçëè÷àþò äâà âèäà ðàñïûëåíèÿ:ôèçè÷åñêîå (êàòîäíîå) è õèìè÷åñêîå (ðåàêòèâíîå).Ôèçè÷åñêîå ðàñïûëåíèå ÿâëÿåòñÿ ðåçóëüòàòîì ñòîëêíîâåíèÿ ìåæäó ïàäàþùèì èîíîì è àòîìàìè ìèøåíè è çàâèñèò îò ýíåðãèè ïàäàþùèõ èîíîâ. Õèìè÷åñêîå ðàñïûëåíèå ïðîòåêàåò â òîì ñëó÷àå, êîãäà ðåàêöèîííîñïîñîáíûé èîí ïëàçìû îáðàçóåò ëåòó÷åå ñîåäèíåíèå ñ àòîìàìè èëè ìîëåêóëàìè ìèøåíè.  ýòîì ñëó÷àå ýíåðãèÿ ïàäàþùåãî èîíà íå èãðàåò ñóùåñòâåííîé ðîëè.

Äëÿ îïèñàíèÿ ïðîöåññîâ ôèçè÷åñêîãî ðàñïûëåíèÿ èñïîëüçóþò ìîäåëè, îñíîâàííûå íà äâóõ ìåõàíèçìàõ. Ñîãëàñíî ïåðâîìó ìåõàíèçìó ðàñïûëåííûå àòîìû âîçíèêàþò â ðåçóëüòàòå ñèëüíîãî ëîêàëüíîãî ðàçîãðåâà ïîâåðõíîñòè ìèøåíè ñàìèì ïàäàþùèì èîíîì(ìîäåëü “ãîðÿ÷åãî ïÿòíà”)èëè áûñòðîé âòîðè÷íîé ÷àñòèöåé(ìîäåëü “òåïëîâîãî êëèíà”). Âòîðîé ìåõàíèçì ñîñòîèò â ïåðåäà÷å èìïóëüñà ïàäàþùåãî èîíà àòîìàì ðåøåòêè ìàòåðèàëà ìèøåíè, êîòîðûå, â ñâîþ î÷åðåäü, ìîãóò ïåðåäàòü èìïóëüñ äðóãèì àòîìàì ðåøåòêè, âûçâàâ òåì ñàìûì êàñêàä ñòîëêíîâåíèé (ìîäåëü ñòîëêíîâåíèé).

 ñëó÷àå,

êîãäà

ïîâåðõíîñòíûé

àòîì

ïîëó÷èò

ýíåðãèþ,

äîñòàòî÷íóþ

äëÿ ðàçðûâà

ñâÿçè ñ

áëèæàéøèìè

ñîñåäÿìè, è

èìïóëüñ

áóäåò

íàïðàâëåí â

ñòîðîíó

ïðàâîé ôàçû,

àòîì ïåðåéäò

â ïðàâóþ

ôàçó. Ïðè

ýòîì

íàïðàâëåíèå

ïîëåòà

àòîìà

äîëæíî

ñîîòâåñòâîâàòü

íàïðàâëåíèþ

ïîëó÷åííîãî

èì èìïóëüñà.

Íå òðóäíî

ïîêàçàòü,

÷òî ýíåðãèÿ

òàêîãî

èìïóëüñà

íàèìåíüøàÿ,

åñëè îí

íîðìàëåí ê

ïîâåðõíîñòè

ìèøåíè.

Ýíåðãèÿ

àòîìà,

ïîêèäàþùåãî

ïîâåðõíîñòü

ìèøåíè è

ïåðåõîäÿùåãî

â ïàð, ðàâíà

èëè

ïðåâûøàåò

ýíåðãèþ

èñïàðåíèÿ è

ñîñòàâëÿåò

ëèøü ÷àñòü

ýíåðãèè

áîìáàðäèðóþùåé

÷àñòèöû,

êîòîðàÿ

òðàòèòñÿ â

îñíîâîíì íà

ðàäèîöèîííûå

ïîâðåæäåíèÿ

êðèñòàëè÷åñêîé

ðåøåòêè

ìèøåíè.

Êîëè÷åñòâåííîé õàðàêòåðèñòèêîé ïðîöåññà êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ ÿâëÿåòñÿ êîýôôèöèåíò ðàñïûëåíèÿ ÊÏ, ðàâíûé êîëè÷åñòâó àòîìîâ âûáèòûõ ñ ïîâåðõíîñòè ìèøåíè îäíîé áîìáàðäèðóþùåé ÷àñòèöåé: (2.3.1), ãäå k - êîýôôèöèåíò õàðàêòåðèçóþùèé ôèçè÷åñêîå ñîñòîÿíèå ìèøåíè è îïðåäåëÿåìûé ýêñïåðèìåíòàëüíî;  - ìàññà áîìáàðäèðóþùèõ èîíà è à àòîìà ìèøåíè,  - ýíåðãèÿ èîíà.

Äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà èîíà (2.3.2), ãäå  - äèàìåòð ñå÷åíèÿ ñòîëêíîâåíèÿ èîíà è àòîìà,  - êîíöåíòðàöèÿ àòîìîâ â ìèøåíè.

Çíà÷åíèå , ïîëó÷àåìîå èç óðàâíåíèÿ (2.3.1) õîðîøî ñîãëàñóåòñÿ ñ ýêñïåðèìåíòàëüíûìè äàííûìè.

Ðàññìîòðåííûé ìåõàíèçì âçàèìîäåéñòâèÿ ÷àñòèö ïîçâîëÿåò îáúÿñíèòü òàêèå ôàêòû, êàê ñóùåñòâîâàíèå ïîðîãîâîé ýíåðãèè èîíà (îáû÷íî íåñêîëüêî áîëüøåé ýíåðãèè èñïàðåíèÿ), íèæå êîòîðîé ðàñïûëåíèå íå ïðîèñõîäèò; çíà÷èòåëüíîå ïðåâûøåíèå ýíåðãèè ðàñïûëÿåìûõ àòîìîâ ýíåðãèè èñïàðÿåìûõ ÷àñòèö; íàèëó÷øåå ðàñïûëåíèå àòîìîâ âäîëü êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé ïëîñêîñòè ñ íàèáîëüøåé ïëîòíîñòüþ àòîìîâ; óìåíüøåíèå êîýôôèöèåíòà  ïðè áîëüøèõ ýíåðãèÿõ áîèáàðäèðóþùèõ èîíîâ; îòñóòñòâèå ýëåêòðîííîãî ðàñïûëåíèÿ; íåçíà÷èòåëüíîå âëèÿíèå íà êîýôôèöèåíò ðàñïûëåíèÿ òåìïåðàòóðû ìèøåíè.

 òîì ñëó÷àå,

êîãäà

êîìïîíåíòû

ñïëàâà

ðàñïûëÿþòñÿ

èç ðàçíûõ

èñòî÷íèêîâ

ïðè îäíîé è

òîé æå

ýíåðãèè

èîíîâ,

ðåãóëèðîâàòü

ñîñòàâ

îñàæäåííîé

ïëåíêè

ìîæíî ïóòåì

ïîäáîðà

ïëîùàäåé

êàòîäîâ. Ïðè

ýòîì

îáåñïå÷èâàåòñÿ

ïîëó÷åíèå

ïëåíîê

çàäàííîãî

ñîñòàâà. Äëÿ

ðàñ÷åòà

ñîñòàâà

äâóõêîìïîíåíòíîãî

ñïëàâà

ìîæíî

âîñïîëüçîâàòüñÿ

ñëåäóþùèì

ñîîòíîøåíèåì:

 (2.3.3), ãäå y - ÷èñëî

àòîìîâ

êîìïîíåíòà;

 - ïëîùàäè

ìèøåíèé;

èíäåêñû 1 è 2

îòíîñÿòñÿ ê

êîìïîíåíòàì

ñïëàâà.

Ðåãóëèðîâàòü ñîñòàâ îñàæäàåìîé ïëåíêè ìîæíî è äðóãèì ñïîñîáîì, íàïðèìåð, èçìåíÿÿ íàïðÿæåíèå, ïðèëîæåííîå ê êàæäîìó êàòîäó. Êîìáèíèðóÿ îáà ñïîñîáà, ïîëó÷àþò ïëåíêè ìíîãîêîìïàíåíòíûõ ñïëàâîâ ïðàêòè÷åñêè ëþáîãî ñîñòàâà.

Äëÿ

ïîíèìàíèÿ

ôèçèêî-õèìè÷åñêèõ

ïðîöåññîâ,

ïðîòåêàþùèõ

ïðè

èîííî-ïëàçìåííîì

(êàòîäíîì)

ðàñïûëåíèè,

ðàññìîòðèì

çàâèñèìîñòü

êîýôôèöèåíòà

ðàñïûëåíèÿ

îò

ðàçëè÷íûõ

ïàðàìåòðîâ

ñîñòîÿíèÿ

ñèñòåìû. Êàê

âèäíî èç

ðèñóíêà 2.3.1,

ïîðîãîâûå

çíà÷åíèÿ

ðàçëè÷íûõ

ìàòåðèàëîâ

ìàëî

îòëè÷àþòñÿ

äðóã îò

äðóãà, íî ïðè

ýòîì

íàáëþäàåòñÿ

çàìåòíîå

ðàçëè÷èå â

ñêîðîñòè

ðîñòà

êîýôôèöèåíòà

ðàñïûëåíèÿ

ïðè

óâåëå÷åíèè

ýíåðãèè

èîíîâ. Äëÿ

ëåãêèõ

èîíîâ íå

âûñîêèõ

ýíåðãèé

êîýôôèöèåíò

ðàñïûëåíèÿ 

ìåòàëëîâ

ïðîïîðöèîíàëåí

, äëÿ òÿæåëûõ -

. Ïðè âûñîêèõ

ýíåðãèÿõ

èîíîâ, êàê

îòìå÷àëîñü

ðàíåå,

ïðîèñõîäèò

èìïëàíòàöèÿ

è

êîýôôèöèåíò

ðàñïûëåíèÿ

óìåíüøàåòñÿ

(ðèñ. 2.3.2).

 

Õàðàêòåð

çàâèñèìîñòè

êîýôôèöèåíòà

ðàñïûëåíèÿ 

îò óãëà

ïàäåíèÿ

èîíîâ 

ïîêàçàí íà

ðèñóíêå 2.3.3. Èç

ðèñóíêà

âèäíî, ÷òî

ðàçëè÷íûå

ìàòåðèàëû

ìèøåíè

ïî-ðàçíîìó

ðåàãèðóþò

íà

èçìåíåíèå

óãëà

ïàäåíèÿ

èîíîâ,

ïðè÷åì ó

áîëåå

òóãîïëàâêèõ

ìåòàëëîâ (Ta, Mo, W)

ýòà

çàâèñèìîñòü

âûðàæàåò

ñëàáåå, ÷åì ó

ëåãêîïëàâêèõ

(Ag, Cu). Ïðè

îþëó÷åíèè

ìèøåíåé

èîíàìè

íèçêîé

ýíåðãèè

íàáëþäàåòñÿ

îáðàòíàÿ

çàêîíîìåðíîñòü.

Òàêèå

ñëîæíûå

çàâèñèìîñòè

óãëîâûõ

ðàñïðåäåëåíèé

ïëîòíîñòè

ðàñïûëÿåìîãî

ïó÷êà èîíîâ

ïîêà íå

ïîëó÷èëè

óäîâëåòâîðèòåëüíîãî

îáúÿñíåíèÿ

â îáùåé

òåîðèè

èîíîãî-ïëàçìåíîãî

(êàòîäíîãî)

ðàñïûëåíèÿ.

Çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ îò òåìïåðàòóðû òàêæå ñëîæíà. Îíà îïðåäåëÿåòñÿ õàðàêòåðîì èçìåíåíèÿ ñòðóêòóð ìèøåíè ñ óâåëå÷åíèåì òåìïåðàòóðû. Íà ñòðóêòóðó ìèøåíè âëèÿåò îòæèã äåôåêòîâ. Îí âîñòàíàâëèâàåò ïîâðåæäåíèÿ êðèñòàëè÷åñêîé ðåøåòêè, ïðîèçâîäèìûå ïàäàþùèì èîíîì î òîãî, êàê â ýòî ìåñòî ïîïàäåò ñëåäóþùèé èîí. Ýòî óâåëå÷åíèå òåìïåðàòóðû ìîæåò ñíèæàòü çíà÷åíèå êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ.

 

Åñëè

ïîâûøåíèå

òåìïåðàòóðû

ðàñïûëÿåìîãî

ìåòàëëà

ïîâëè÷åò çà

ñîáîé

ôàçîâîå

ïðåâðàùåíèå

(íàïðèìåð, â

æåëåçå ïðè 1179 Ê

ÎÖÊ

ïåðåõîäèò â

ÃÖÊ), òî

õàðàêòåð

çàâèñèìîñòè

Êï îò

òåìïåðàòóðû

ìîæåò

èçìåíÿòüñÿ.

Òàê, ïðè

íàãðåâàíèè Fe

äî 1179Ê

êîýôôèöèåíò

Êï

óâåëè÷èâàåòñÿ

ñ ðîñòîì

òåìïåðàòóðû,

à ïîñëå 1179Ê

óìåíüøàåòñÿ.

Íà ðèñóíêå 2.3.4

ïîêàçàíà

çàâèñèìîñòü

êîýôôèöèåíòà

ðàñïûëåíèÿ

îò

òåìïåðàòóðû

ìèøåíè äëÿ

íåêîòîðûõ

ìåòàëëîâ.

Óãëîâîå

ðàñïðåäåëåíèå

ðàñïðåäåëåíèå

ðàñïðåäåëåíèÿ

÷àñòèö

÷àñòî èìååò

ïåðâîñòåïåííîå

çíà÷åíèå

äëÿ

òåõíîëîãèè

ïîëó÷åíèÿ

êà÷åñòâåííûõ

òîíêèõ

ïëåíîê

ðàçëè÷íûõ

ìàòåðèàëîâ.

 îòëè÷èå îò

èñïàðåíèÿ

óãëîâîå

ðàñïðåäåëåíèå

÷àñòèö ïðè

êàòîäíîì

ðàñïûëåíèè

íå

ïîä÷èíÿåòñÿ

çàêîíó

êîñèíóñà.

Áîëüøîå

÷èñëî

÷àñòèö

ðàñïûëÿåòñÿ

â

íàïðàâëåíèè,

ïàðàëëåëüíîì

ïîâåðõíîñòè

ìèøåíè

(“ïîäêîñèíóñíîå”

ðàñïðåäåëåíèå).

Òàêîå

ðàñïûëåíèå

õàðàêòåðíî

äëÿ ìèøåíåé

èç Fe è Mo,

êîòîðûå

èìåþò ÎÖÊ, è

íå

õàðàêòåðíî

äëÿ Ni è Pt,

èìåþùèõ ÃÖÊ.

Ïî ìåðå

âîçðàñòàíèÿ

ýíåðãèè

èîíîâ,

õàðàêòåð

ðàñïðåäåëåíèÿ

ìåíÿåòñÿ (èç

“ïîäêîñèíóñíîãî”

ñòàíîâèòñÿ

“íàäêîñèíóñíûì”),

ò.å. áîëüøåå,

÷åì ýòî

ñëåäóåò èç

çàêîíà

êîñèíóñà,

÷èñëî

÷àñòèö

íà÷èíàåò

ðàñïûëÿòñÿ â

íàïðàâëåíèè

áëèçêîì ê

íîðìàëè

ïîâåðõíîñòè

ìèøåíè.

Ïðè äàâëåíèÿõ íèæå 0.0133 Ïà êîýôôèöèåíò Êï ïðàêòè÷åñêè íå çàâèñèò îò äàâëåíèÿ è ñîñòàâà îñòàòî÷íûõ ãàçîâ è òîëüêî ïðè äàâëåíèÿõ âûøå 1.33 Ïà íà÷èíàåò ðåçêî óìåíüøàòüñÿ (ðèñóíîê 2.3.5.), ÷òî îáúÿñíÿåòñÿ îáðàçîâàíèåì íà ïîâåðõíîñòè ìèøåíè ïëîòíûõ àäñîðáèðîâàííûõ ñëîåâ, ïðåïÿòñòâóþùèõ ðàñïûëåíèþ ìàòåðèàëà ìèøåíè, à òàêæå âîçâðàòîì ðàñïûëåííûõ ÷àñòèö ê êàòîäó èç ñîóäàðåíèÿ ñ ÷àñòèöàìè ãàçà.



Ðèñóíîê 2.3.5.Çàâèñèìîìòü êîýôôèöèåíòà ðàñïûëåíèÿ Êï íèêåëÿ, áîìáàðäèðóåìîãî èîíàìè àðãîíà ñ ýíåðãèåé 150 ýÂ, îò äàâëåíèÿ ãàçà ð.

Êàê ïðàâèëî, â óñòàíîâêàõ èîííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ ðàáî÷àÿ êàìåðà îãðàíè÷åíà âàêóóìíîïëîòíûì êîëïàêîì. Äàâëåíèå â êàìåðå ïîääåðæèâàåòñÿ íà óðîâíå 1,33 Ïà. Ðàñòîÿíèå ìåæäó êàòîäîì è àíàîäîì ñ ðàñïîëîæåííûìè íà íåì ïîäëîæêàìè ñîñòàâëÿåò 1...15 ñì ïðè äèàìåòðå ýëåêòðîäîâ 5...50 ñì. Íàïðÿæåíèå ïîääåðæèâàåòñÿ 1...10 êÂ.

Ðàñïûëåíèå

ïðè íèçêîì

äàâëåíèè

èìååò

îïðåäåëåííûå

äîñòîèíñòâà:

äîñòèãàåòñÿ

áîëüøàÿ

÷èñòîòà

ïëåíêè çà

ñ÷åò

óìåíüøåíèÿ

çàõâàòà

àòîìîâ ãàçà,

óëó÷øàåòñÿ

àäãåçèÿ

ïëåíîê

áëàãîäàðÿ

áîëüøåé

ýíåðãèåé

ðàñïûëåííûõ

÷àñòèö,

óäàðÿþùèõñÿ

î ïîäëîæêó.

Îäíàêî ïðè

ïîíèæåíèè

äàâëåíèÿ

òåìíîå

ïðîòñðàíñòâî

â ðàçðÿäå

ðàñòÿãèâàåòñÿ

ðàçðÿä

ãàñíåò è

ðàñïûëåíèå

ïðåêðàùàåòñÿ.

Ïîýòîìó äëÿ

ïîääåðæàíèÿ

ðàçðÿäà è

îáåñïå÷åíèÿ

ðàñïûëåíèÿ

ïðè íèçêèõ

äàâëåíèÿõ

íåîáõîäèìû

ñïåöèàëüíûå

ìåðû. Äëÿ

ïîëó÷åíèÿ

ïëåíîê â

áîëåå

ãëóáîêîì

âàêóóìå ñ

öåëüþ

äîñòèæåíèÿ

áîëüøåé

÷èñòîòû

ïðèìåíÿþò

àïïàðàòû,

ïîçâîëÿþùèå

ïîääåðæèâàòü

ïëàçìó ïðè

äàâëåíèè 10-5...10-7

Ïà. Ïðè ýòîì

äëÿ

âîçáóæäåíèÿ

ïëàçìû

èñïîëüçóþò

ñïåöèàëüíûå

óñòðîéñòâà.

Ñòåïåíü ðàçðÿæåíèÿ äîëæíà îáåñïå÷èâàòü ðàâåíñòâî ñêîðîñòåé ðàñïûëåíèÿ è îñàæäåíèÿ, ïðè êîòîðîì ðàñïûëåííûå ÷àñòèöû íå áóäóò âîçâðàùàòüñÿ îáðàòíî ê êàòîäó âñëåäñòâèå ñîóäàðåíèÿ ñ ìîëåêóëàìè ãàçà.

Ñêîðîñòü èîííî-ïëàçìåíîãî ðàñïûëåíèÿ (îñàæäåíèÿ) v=CIKï (2.3.1), ãäå Ñ - ïîñòîÿííàÿ äàííîãî ïðîöåññà; I - èîííûé òîê.

Ïîñêîëüêó Êï çàâèñèò îò íàïðÿæåíèÿ ðàçðÿäà Uð, äàâëåíèå ãàçà Ð, ðàññòîÿíèå d ìåæäó ìåøåíüþ è ïîäëîæêîé, ïðèðîäû ðñïûëÿåìûõ èîíîâ è äðóãèõ ôàêòîðîâ, óðàâíåíèå (2.3.1) ìîæíî çàïèñàòü â âèäå: v=(C’IUp)/(Pd), ãäå ђ - ýêñïåðèìåíòàëüíàÿ êîíñòàíòà, îòðàæàþùàÿ âëèÿíèå íåó÷òåííûõ ôàêòîðîâ.

Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé ñêîðîñòè ðàñïûëåíèÿ èîííûé òîê ñëåäóåò óâåëè÷èâàòü äî ìàêñèìàëüíî âîçâîæíîãî çíà÷åíèÿ. Èç-çà îãðàíè÷åíèÿ äîïóñòèìîé ìîùíîñòè íàïðÿæåíèå ìîæíî ïîâûñèòü òîëüêî çà ñ÷åò ïîâûøåíèÿ äàâëåíèÿ ãàçà, ÷òî ïðèâåäåò ê ðåçêîìó ñíèæåíèþ Êï. Ïîýòîìó äëÿ ïîâûøåíèÿ ñêîðîñòè ðàñïûëåíèÿ äàâëåíèÿ ãàçà íåîáõîäèìî ïîääåðæèâàòü íà òàêîì óðîâíå, ÷òîáû îíî ñîîòâåòñòâîâàëî äîñòàòî÷íî âûñîêîìó çíà÷åíèþ Êï. Ñîãëàñíî ðèñóíêó 2.3.5 ýòî äàâëåíèå ñîñòàâëÿåò 1.3 Ïà.

Íà ñêîðîñòü

îñàæäåíèÿ

âëèÿåò

ðàññòîÿíèå

ìåæäó

ïîäëîæêàìè è

êàòîäîì.

×òîáû

îáåñïå÷èòü

îñàæäåíèå

ìàêñèìàëüíîãî

êîëè÷åñòâà

ðàñïûëåííîãî

ìàòåðèàëà,

ïîäëîæêè

ñëåäóåò

ðàñïîëîãàòü

êàê ìîæíî

áëèæå ê

êàòîäó.

Îäíàêî ïî

ìåðå èõ

ñáëèæåíèÿ

èîííûé òîê

ðåçêî ïàäàåò

(äàæå åñëè

ïîäëîæêè íå

äîñòèãëè

ãðàíèöû

òåìíîãî

êàòîäíîãî

ïðîñòðàíñòâà)

è ñêîðîñòü

ðàñïûëåíèÿ

óìåíüøàåòñÿ.

äëÿ âûáîðà

îïòèìàëüíîãî

ðàñòîÿíèÿ

ìåæäó

ïîäëîæêîé è

êàòîäîì

ñóùåñòâóåò

èìïåðè÷åñêîå

ïðàâèëî,

ñîãëàñíî

êîòîðîìó

ýòî

ðàññòîÿíèå

äîëæíî áûòü â

äâà ðàçà

áîëüøå äëèíû

êðóêñîâà

òåìíîãî

ïðîñòðàíñòâà.

Ýêñïåðèìåíòàëüíî

óñòàíîâëåíî,

÷òî ÷èñëî

îñåâøèõ íà

ïîäëîæêå

àòîìîâ

ñîñòàâëÿåò 99;

96; 55; 10% îò îáùåãî

÷èñëà

ðàñïûëåííûõ

àòîìîâ ïðè

ñëåäóþùèõ

çíà÷åíèÿõ

ïðîèçâåäåíèÿ

Pd: 10-2; 10-1;1;10 Ïàñì.

Ïðè èîííî-ïëàçìåííîì ðàñïûëåíèè íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ ïî êðàÿì êàòîäà óâåëè÷èâàåòñÿ, ÷òî ïðèâîäèò ê óñêîðåíèþ ðàñïûëåíèÿ ñ åãî êðàåâ è ñîîòâåòñòâóþùåìó ðîñòó òîëùèíû ïëåíîê íà ïåðèôåðèè ïîäëîæåê. ×òîáû èçáåæàòü ýòîãî, ïëîùàäü ìèøåíè äîëæíà áûòü çíà÷èòåëüíî áîëüøå ïëîùàäè ïîäëîæåê. Îáû÷íî îòíîøåíèå ýòèõ ïëîùàäåé ñîñòàâëÿåò 10:1. Ïðè ýòîì ìîæíî îáåñïå÷èòü ðàâíîìåðíîñòü òîëùåíû ïëåíîê îêîëî 1%. Ñêîðîñòü èííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ ïîääåðæèâàåòñÿ ðàâíîé 100 íì/ìèí.

Ñïèñîê ëèòåðàòóðû

1. ×åðíÿåâ Â.Í. Ôèçèêî-òåõíè÷åñêèå ïðîöåññû â òåõíîëîãèè ÐÝÀ. Ì.: Âûñø. øê., 1987.-376 ñ.

2. Åïèôàíîâ. Ôèçèêà òâåðäîãî òåëà.

3. Åàèôàíîâ. Ôèçè÷åñêèå îñíîâû ìèêðîýëåêòðîíèêè.



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